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91.
陈大鹏  韩平 《仪表技术》2014,(12):12-14
伺服转台大多采用间接驱动方式,以减速机作为传动装置,针对该系统具有间隙、摩擦等非线性特征,以位置环作为研究对象,引入复合控制的思想,提出了一种智能PID控制算法,可根据误差大小和运动趋势来改变P、I、D三个参数值,从而有效的对转台伺服系统的转轴进行实时控制。实验结果表明该算法响应速度快,跟踪性能好,抗外界干扰能力强,可较好地提高控制精度。  相似文献   
92.
We evaluated the TiN/TaN/TiA1 triple-layer to modulate the effective work function (EWF) of a metal gate stack for the n-type metal-oxide-semiconductor (NMOS) devices application by varying the TiN/TaN thickness. In this paper, the effective work function of EWF ranges from 4.22 to 4.56 eV with different thicknesses of TiN and TaN. The thinner TiN and/or thinner in situ TaN capping, the closer to conduction band of silicon the EWF is, which is appropriate for 2-D planar NMOS. Mid-gap work function behavior is observed with thicker TiN, thicker in situ TaN capping, indicating a strong potential candidate of metal gate material for replacement gate processed three-dimensional devices such as FIN shaped field effect transistors. The physical understandings of the sensitivity of EWF to TiN and TaN thickness are proposed. The thicker TiN prevents the A1 diffusion then induces the EWF to shift to mid-gap. However, the TaN plays a different role in effective work function tuning from TiN, due to the Ta-O dipoles formed at the interface between the metal gate and the high-k layer.  相似文献   
93.
94.
同步辐射光刻技术研究进展   总被引:3,自引:0,他引:3  
光刻技术是推动集成电路制造业不断向前发展的关键技术。X射线光刻技术是下一代光刻技术的一种,具有产业化的应用前景。掩模技术是X射线光刻技术的难点,本文报告了国内利用同步辐射源的X射线掩模和光刻技术研究的最新进展。  相似文献   
95.
基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外成像系统   总被引:1,自引:0,他引:1  
报道了一种利用MEMs技术制备,基于双材料悬臂梁结构的非制冷红外焦平面阵列(FPA)并配有可见光读出部分的红外成像系统,可以在8~14μm光谱区得到成像。基于该结构的非制冷红外成像系统利用的是光力学效应原理。我们采用MEMS表面硅工艺制备FPA,深入研究了双材料悬臂梁结构成像系统的基本原理,工艺制备难点和响应结果。  相似文献   
96.
针对20世纪70至90年代既有住区 的多层居住建筑卫生间设计标准低、排水设 备管线老化严重、管线维修更换影响下层生 活等问题,本研究聚焦在既有住区建筑中的 集合住宅卫生间的排水方式的比较和改造策 略的研究,推荐采用不降板的同层侧墙排水 方式进行既有住宅的卫生间改造,同时也为 新建卫生间的优化提供了参考。  相似文献   
97.
2011年,陕西省委省政府对陕南三市深受自然灾害和贫穷困扰的240万群众实施移民搬迁,安置社区的建设成为了搬迁中的重心工作之一。本文以陕南小城镇安置社区为研究对象,建立地域适应性评价模型,运用层次分析法计算评价因子权重并综合各层因子评价标准的判断得出结果。通过分析评价结果,为社区策划与设计提供思路与建议。本研究初步构建一套基于陕南小城镇安置社区的评价标准,以促进安置社区的建设,并帮助居民提高其对社区实际策划、设计、管理的认知。  相似文献   
98.
本次研究对数据中心空调系统整体COP值与其冷水机组负载率LR(Load rate)之间的关系进行了分析,重点描述了基于空调系统冷水机组的COP值来对机房内的空调主机进行控制,建立了冷水机组能耗的数学模型,利用了PSO算法的简单易操作性对冷水机组之间的负荷分配进行了寻优计算,实现了空调系统能源利用的合理优化分配,使得空调机组在高效率下运行,取得了较为理想的节能效果。  相似文献   
99.
在我国,目前都是采用固井水泥车等简易试压系统在各大油田固井工具试压,这是一种没有安全防护设施的试压方式,其过程中存在安全隐患,压力测试和记录也不方便。由此我们研制了固井工具自动试压系统。这个系统能自动检测固井工具的密封性能和抗压强度,有效地改善了国内各油田固井工具试压系统设备简陋,及不安全的隐患。系统由计算机远程监控,实现了固井工具压力测试,数据采集与校正整体运作。实践证明,该系统是固井作业最安全有效的先进检测装置之一。  相似文献   
100.
以新鲜鸡蛋、酸奶为主要原料,配以白砂糖、稳定剂等辅料,运用合理的加工工艺,通过正交试验和感官评定的方法,研制出了一种风味独特、多种营养素兼容的具有保健功能的搅拌型酸奶,研究结果表明鸡蛋酸乳的最佳发酵条件为:蛋液代替度(40%,V/V),蛋稀释倍数为5,增稠剂添加量为0.2%、加糖量7%,接种量3%。对产品也进行了相应的各项理化性质、微生物指标的检验和感官进行评定,均符合标准。  相似文献   
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