利用EGR技术生成薄膜

半导体制造工艺中的薄膜生长,迄今广泛应用的是热CVD法(Chemical VaporDeposition)和等离子CVD法,而这些方法是在高温状态下进行的,因此,对那些衬底耐热性较差或者经高温处理其性能和可靠性要降低的器件来说,利用这些方法有一定的困难。为了提高大规模集成电路、超大规模集成电路的性能、集成度和成品率,迫切需要一种能在低温下形成高质量薄膜的薄膜生长新技术。     

回忆傅作义部长

1949年10月1日中华人民共和国成立,水利部第一任部长就是傅作义将军。北平解放以后,在酝酿成立中央人民政府的过程中,由于北平和平解放傅将军有功,周总理曾请他考虑职务。傅部长由于长期转战在历史上靠引黄河水灌溉的河套地区,对“黄河富一套”之说,对“水利是农业的命脉”的名言,有较深的体验,所以当周总理征求他的意见时,他毅然自选为水利部长。我是1950年初调到水利部工作的,二十多年来在傅作义部     

中直径电焊钢管的质量管理

近年来，由于电焊钢管制造技术的提高，其需求正在向高强度、高韧性管线管和高级油井管等方面扩展，这些钢管以前是用其它制造方法生产的。随之而来的是希望强化质量管理体制，目的是提高以生产管线管和油井管为主的２４ｉｎ机组的质量保证系统的功能，同时实施电子计算机信息一元化管理，完善在线和离线超声波探伤装置，结果可以降低废品率和缩短交货期。本系统是１９９２年末完成的。     

钢铁工业的城市共生能源系统的开发

钢铁工业的城市共生能源系统的开发［日］八木顺一郎　秋山发宏１引言日本钢铁工业所消耗的能量占整个制造业年能耗量的２７．８％。可见，炼铁炼钢系统废热的回收不论对矿物燃料的更有效利用，还是对环境保护都是很重要的。虽然日本的炼铁厂已广泛采用了能量回收设备，但...     

JT—60U氘实验的最新成果和辐射安全

ＪＴ－６０在１９８９年－１９９１年经强电流化改造成ＪＴ－６０Ｕ后，实验主要围绕着“约束性能改善”和“稳态化”两大研究课题进行。其目的是通过改善等离子体约束性能和研究托卡马克装置的稳态化，对国际热核聚变实验堆ＩＴＥＲ物理研究的主要课题作出贡献，同时推进和实施对未来动力堆设计不可缺少的前期研究。     

两种具有电双稳态的全有机络合物

首次发现两种在室温下即具有电双稳态的全有机（有机-有机）络合物，分别称为MCA＋TCNQ和BBDN＋TCNQ。它们可在真空中制备成薄膜，在数伏电压的作用下，从高电阻至低电阻的跃迁时间小于100ns，因此可作为一次写入的存储器材料。根据我国目前最小刻线宽度的水平，可望在1．6cm2的SiO2平面上做出64Mb的存储器。