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为适应扫描电化学显微镜(SECM)常规应用中100nm左右的微定位精度需求,同时降低其微定位控制器的成本,在分析SECM压电工作台运动定位数学模型的基础上,结合SECM实际应用中的特点,将压电工作台数学模型进行了合理的简化,并在此基础上设计了算法简单且易于实现的开环微定位控制器。以CHI900B型扫描电化学显微镜的三维压电工作台为实验对象进行建模和控制器设计,实验结果表明,压电工作台运动定位平均跟踪误差和最大跟踪误差分别为0.093、0.115μm,误差约0.1μm,可满足SECM常规应用中的微定位精度需求。建模过程和控制器设计简单易行且无须额外的微定位传感器,适于SECM的常规应用。 相似文献
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介绍了微型啤酒生产线计算机控制系统的硬件配置和软件设计。温度是啤酒发酵过程的关键参数 ,在该生产线中通过变频器驱动管道泵使冷媒在发酵罐中强制循环来控制温度 ,于是管道泵转速的确定就成为关键问题。依据多目标系统模糊优选理论提出一种管道泵转速的优选策略 ,综合考虑了各种指标 ,满足了工艺需要。 相似文献
3.
扫描电化学显微镜压电工作台的建模与控制 总被引:1,自引:1,他引:1
为提高扫描电化学显微镜(SECM)微定位系统的运动定位精度,对其压电工作台的数学模型和控制器设计进行了研究.介绍了压电工作台的动态迟滞模型方程和采用Prandtl-Ishlinskii(PI)迟滞算子的动态迟滞模型,并在此基础上设计了压电工作台的复合控制方案.以CHI900B型扫描电化学显微镜的三维压电工作台为实验对象,对动态迟滞模型的具体建模过程进行了阐述,并验证了控制器的性能.在100 V/s和900 V/s两种不同输入电压速率下进行运动定位实验,动态迟滞模型平均误差分别为0.08μm和0.11μm,精度明中显优于压电工作台的线性动态模型和PI迟滞模型.复合控制方案下,系统跟踪±400μm/s任意三角波的平均误差为0.085μm,最大误差为0.105μm;跟踪复频波的平均误差为0.105μm,最大误差为0.115μm.控制效果较好. 相似文献
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分析了晶闸管设备中器件结晶检测的困难,基于回归分析理论提出了一种在线自动检测晶闸管结温的新方法,并由抗强电磁场干扰的温度传感器,PC机组成了晶闸管结温自检测系统。 相似文献
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针对热敏电阻温度传感器生产中对互换性分析的实际需要,提出了利用模糊划分理论解决该总是的设想,并得到了一个简洁实用的算法,在此基础上利用计算机和标准总线模板研制成功温度传感器互换性模糊划分系统。 相似文献
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李现明 《仪表技术与传感器》1997,(7)
本文介绍了一种物理场动态检测的新方法—模糊回归分析法,它以多元线性回归分析理论为依据,其中自变量的选择采用了模糊关系优选决策理论,可节省大量的传感器及其相应的信号调理电路。该方法已在一个实际系统中得到成功应用 相似文献
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分析了电力电子设备主回路器件温度检测的必要性和存在的困难 ,基于回归分析理论提出了一种在线自动检测电力电子器件温度的新方法 ,以抗强电磁场干扰的温度传感器、PC总线模板、PC机组成电力电子设备器件温度自动检测系统 相似文献
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用传感器、PC机和PC总线模板组成专用系统,运用正交设计的方法确定具有热风室的强迫能风箱工电阻炉各导风板的最优开启幅度,与传统的经验调整方法相比,可大幅度改善其均温效果。 相似文献
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简要介绍了自动分拣系统的自动上包机的结构及电气控制系统,重点论述了基于激光扫描上包的上包速度与货包信息同步跟踪之间的矛盾及其解决方法,并给出了自动上包部分的流程框图.实际应用表明,文中所采用的上包控制方案是行之有效的. 相似文献