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多孔Al2O3湿度传感器的湿敏电容理论模型 总被引:3,自引:1,他引:3
建立了一种新型的多孔 Al2 O3 湿度传感器湿敏电容模型,以电容作为感湿特征量的理论分析变得更加明确直接。该模型理论分析曲线与实际测量曲线吻合说明了其正确性。 相似文献
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给出了一种静电驱动二维微扫描镜的设计和制造方案,所设计的扫描镜具有绕X轴和Y轴转动的两个自由度,并具有体积小、功耗低、频率高等优点。推导了镜面旋转角表达式并分析了吸合效应。利用POL YMUMPS工艺完成了对扫描镜的加工,并着重分析了关键工艺步骤。结合有限元分析软件,对微扫描镜的频率特性以及静态旋转特性进行了分析和研究。分析结果表明,在120V和160V的电压下,扫描镜可分别产生沿X轴方向的±5.0°和沿Y轴方向±4.4°的偏转角。优化后的扫描镜能够工作在单频率状态下,具有较高的响应速度。 相似文献
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激光诱导荧光检测技术 总被引:4,自引:1,他引:3
激光诱导荧光(LIE)检测作为目前灵敏度最高的检测技术之一,在生物、化学、医学等领域应用广泛,其本身的技术发展也十分迅速.综述了近年来LIF检测系统、荧光探针、荧光分析技术和应用领域的进展,重点介绍了LIF激光光源、光纤光路LIF系统、多通道LIF系统以及LIF成像的最新进展和应用前景. 相似文献
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在电子束蒸发镀膜的基础上,引入低压反应离子镀工艺制备WO3电致变色薄膜,研究不同氧分压对WO3薄膜电致变色特性的影响,实验结果表明制备时选择工作气体氩气分压为2×10-2 Pa,氧分压为4×10-2 Pa时,薄膜具有最好的电致变色特性和最大的变色范围.进而采用低压反应离子镀工艺成功地实现在塑料基板上制备WO3薄膜,并对其电致变色特性进行了研究.同时对比了采用普通电子束蒸发镀膜制备的WO3薄膜的电致变色特性. 相似文献