Cu/Zr-Si-N/Si金属化系统制备及退火气氛对其热稳定性的影响

采用磁控溅射法在n型〈111〉晶向的Si衬底上形成了Zr-Si-N薄膜及Cu/Zr-Si-N/Si金属化系统.将Cu/Zr-Si-N/Si金属化系统样品分别在真空及H2/N2(体积比为1∶9)气氛中800℃退火1h.对Zr-Si-N薄膜和退火后的金属化系统样品进行X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电镜、薄层电阻率及俄歇电子能谱测试与分析.结果表明,Zr-Si-N阻挡层是以ZrN晶体与非晶相Si3N4或其他Si-N化合物的复合结构形式存在.经过两种气氛退火后的样品均没有发生阻挡层失效,但与真空退火相比,H2/N2退火气氛由于不存在残余O2的作用而表现出较低的Cu膜薄层电阻率及较好的Cu/Zr-Si-N/Si界面状态.     

小波分析在光激光拾硅微谐振传感器微弱信号检测中的应用

光激光拾硅微谐振传感器在实际测量中光拾信号非常微弱，往往淹没在噪声中，无法识别其谐振频率。根据光拾信号与噪声的频率特性，采用小波多分辨分析方法将噪声与信号分离，并采用双频法识别系统，研究了采样频率与系统谐振频率的关系，在两个最佳采样频率下达到准确识别谐振频率、固有频率与阻尼比。     

制冷空调设备的变频能量调节

本文概要介绍了制冷空调设备中应用变频调速技术进行能量调节的原理和方法,以及由此给制冷系统性能带来的变化。重点介绍了为实现变频能量调节而在系统配置上的特殊考虑。并附有大量参考文献和图表。     

基于混沌共振锁频特性提取微弱频率变化

提出利用混沌进行柔性测量的一种方法 ,该方法特别适用于微谐振传感器在感测压力、温度变化时存在信号较弱 ,需要提高其灵敏度和测试分辨力的场合。利用系统从混沌状态到大周期转变时所表现出的共振锁频性质 ,进行了微弱频率变化信号的仿真提取。仿真证明该方法能实现对不同频率变化准确度的柔性测量 ,文中还进一步分析了其理论基础 ,提出了驱动力等效性观点。并给出了实验仿真结果 ,表明该方法很有应用潜力     

实现精密测温的脉冲调宽与三步替代法

本文提出一种配用热电阻传感器的精密测温方法.它将温度变化引起的电阻改变量转换为脉冲宽度的变化,采用单片机控制开关实现三步替代测量法,可以消除各种系统误差.为制作高性能价格比的测温仪提供一条简易的新途径.根据上述原理研制成功的PMWT-1型脉冲调宽式测温仪,在环境温度15℃～35℃范围内测温精度优于±0.05℃.     

微型红外气体分析器

着重阐述了日本，法国，英国，瑞士等国家不同研究机构MEMS红外气体分析器的最新研究动态，以及原理和结构特点。这些微型红外气体分析器因其体积小，成本低，在分光类型，调制方式和检测手段等方面各具特色，近年来得到了迅速发展。其研究思路对于国内研究气体分析仪器的同地也具有一定的借鉴作用。     

MCS系列单片机P1口键盘显示功能的实现

介绍了一种利用MCS系列单片机的P1口实现键盘显示功能的设计方法。这种方法利用MCS系列单片机P1口的准双向口功能，向显示驱动器串行发送所需显示的数据，从按键接收电平信号，通过软件识别不同情况下按键码的含义，以实现一键多功能。给出了键盘显示系统的电路图，介绍了一键多功能的键盘设计方法。通过在内燃机汽缸内壁激光热处理条纹宽度与厚度的检测系统中应用表明，MCS系列单片机的这种键盘显示技术节省了系统资源，经济实用，稳定性好，具有较高的使用价值。     

便携式GIS局部放电检测系统

为查找运行中GIS设备的绝缘缺陷位置以及为检修维护方案提供有效支持的重要手段,局部放电定位技术在GIS现场安全维护中得到广泛的关注。通过分析GIS局部放电检测定位技术的优缺点,设计并制作了便携式GIS局部放电检测系统。现场应用情况表明,便携式GIS局部放电检测系统同时检测局部放电的超高频和超声信号,并对两类信号进行比较分析,能更加有效地排除现场干扰,检测运行中GIS的局部放电信号并对绝缘缺陷进行准确定位。     

电热激励微悬臂梁谐振器输出电压影响因素研究

制作了电热激励硅 /二氧化硅双层微悬臂梁谐振器。对影响谐振器输出电压的因素研究结果表明 :减小梁宽度、硅层厚度、环境气压和温度 ,可增大微悬臂梁谐振器输出电压 ;输出电压随激励功率增加而增大 ;谐振器输出电压与谐振器根部压敏电桥电源电压成正比。最后论述了提高谐振器输出电压的可行途径