Cu CMP工艺对薄膜介电常数的影响机制

研究了使用不同研磨液的Cu CMP工艺对超低介电常数(ULK)薄膜介电常数k值的影响.实验结果表明经过Cu CMP工艺,ULK薄膜的介电常数k均有不同程度的增加.XPS成分分析结果表明,ULK薄膜表面C含量的增加是造成介电常数k值升高的主要原因.这主要是由于CMP工艺中,化学品溶液进入多孔的ULK薄膜.而退火工艺可以使得化学品挥发,从而使ULK薄膜表面C含量降低,由此介电常数k基本上得以恢复.初步建立了Cu CMP工艺对介电常数k影响的物理模型.根据模型计算的k结果为2.75,与实测值2.8基本符合.     

文丘里式气泡发生器内气泡输运过程研究

利用可视化方法研究文丘里式气泡发生器内气泡的输运和破碎过程。实验以水和空气为工质,水流量范围为15～20 m³/h,气流量范围为0.6～0.7 L/min,空泡份额在0.2%～0.3%之间。结果表明：不同于常规通道,气泡在从文丘里管喉部流出后具有一个明显的减速过程,使得气液相对速度随之增加,该减速过程对气泡变形和破碎存在极大影响;水流量对气泡的破碎位置无明显影响,气泡破碎位置通常发生在渐扩段距喉部8～10 mm左右的范围,处于壁面涡流区与主流的交界附近。     

普侨直流普洱换流站内接地网替代接地极双极运行方案

首先分析了普侨直流普洱换流站接地网替代接地极双极运行的必要性,接着对接地网替代接地极运行可行性开展一系列研究,主要包括:鉴于接地极和接地网设计原则差异,对接地网热稳定性、接触电压和跨步电压等开展校核;为最大限度减少不平衡电流进入站内接地网,提出了优化双极解/闭锁同步逻辑、双极电流跟随同步逻辑和双极联跳逻辑,同时为最大限度满足系统、设备及人身安全要求,提出优化整流侧76SG、整流侧87GPS及逆变侧60EL等保护功能。现场运行表明:通过对直流站控功能、极控功能及保护功能进行优化后,普侨直流完全能适应普洱换流站接地网替代接地极双极运行方式,双极解/闭锁、双极联跳时差较小,一致性较好;各种运行工况下,站内一次设备安全运行、人身安全及二次设备安全运行等均满足规程要求。     

壳聚糖微粉/生物医用聚氨酯共混膜的力学性能研究

采用流延法制备壳聚糖微粉与生物医用聚氨酯溶液共混膜,研究了壳聚糖微粉含量对共混膜力学性能和吸水率的影响.结果表明随着壳聚糖微粉含量增加,共混膜拉伸强度和断裂伸长率均大幅降低,但共混膜吸水率显著改善.经综合分析推断共混膜中壳聚糖微粉含量在10%附近时,既能保持共混膜足够力学性能,又能获得理想吸水性.     

介质气体对多效管式海水淡化装置性能的影响

采用自制的小型三效管式海水淡化装置,对不同介质气体(空气、氧气、二氧化碳和氦气)条件下的淡化装置性能进行研究。结果表明:在运行温度≤75℃的中低温条件下,以氧气为介质气体时淡化装置的稳态产水性能较好,产水率可达到0.44 kg/h,比采用空气作为介质气体时的产水率提高了34%;以氦气为介质气体时淡化装置的启动和瞬态升温性能较好,启动和达到稳态所需时间分别为83 s和130 min。综合分析不同介质气体条件下淡化装置的性能与运行成本,优选得出以氧气作为介质气体可使淡化装置的效能达到最佳。     

不断开拓创新,夯实监管体系全面提升法库县农产品质量安全监管水平

近年来,法库县始终将农产品质量安全放在首位,建体制、抓责任、强意识,从源头保障农产品上的安全。阐述了法库县农产品安全监管体系的基本情况,在各级政府的领导下,取得的工作成效与存在的问题,同时讲述了下一步的工作打算。     

设备电气线路设计的探讨

我们在拟制设备电气线路时,除按电气法规要求外,还要考虑到电能、成品、材料等方面的节约,本文就几个实例对比进行了探讨。     

城市道路交通分析与交通工程设计探究

针对城市道路交通系统运行和城市道路设计的问题,论文阐述城市道路的交通功能,探讨交通需求,如车流需求和公共交通需求,从横断面形式与选择、交叉口交通设计、路段交通设计3方面对城市道路交通工程设计进行具体分析。     

沙特阿美项目塑性混凝土搅拌站改造方案研究

塑性混凝土永久防渗墙具有施工简便、工效高、工期短、节约成本等优点,在国内外已有了较为广泛的应用,但是在沙特阿美项目仍没有成功应用的案例。为了推动塑性混凝土在沙特阿美项目永久防渗墙中的应用,保障项目塑性混凝土的供应,对塑性混凝土搅拌站改造所涉及的膨润土掺入方式、工艺流程、工艺计算、方案对比以及沙特阿美审批流程进行了研究,为后续塑性混凝土在沙特阿美项目的应用提供支持。     

基于遗传算法的降低仓储系统运行噪声方案优化

基于用户工作场所低噪音要求,对仓储系统运行噪声进行研究分析,致力降低仓储系统运行噪声,保证用户可以在一个相对安静舒适的环境中工作。主要是通过调整导向结构关键尺寸,从而降低运行过程中导向轮摩擦和提升车晃动产生的噪声,降低摩擦阻力可有效地降低提升电机减速机发出的声音。采用试验与算法相结合的方式,对导向结构关键尺寸进行正交设计,建立试验尺寸组合,按照设计的尺寸进行加工装配,获取每组尺寸运行过程中产生的噪音最大值。最后将神经网络和遗传算法相结合,优化导向结构关键尺寸,将仓储系统运行噪音降低到最小值。研究的主要内容是依靠数学模型寻求一种能够快速准确地优化设备关键结构件尺寸的方法。