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31.
气溶胶辅助化学气相沉积制备Al掺杂ZnO透明导电薄膜 总被引：2，自引：0，他引：2
采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)法在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜. 研究了Al掺杂(2at%~8at%)对ZnO薄膜结构及光电性能的影响. 利用XRD、SEM、EDAX、紫外可见分光光度计等手段对样品进行测试. 结果表明, 制备的所有AZO薄膜均具有纤锌矿结构, 不具有沿c轴方向的择优取向, XRD图谱中未观察出Al的相关分相. 在可见光范围内, AZO薄膜的平均透过率大于72%, 光学禁带宽度随Al掺杂量的增加而变窄. 同时根据四探针技术所得的数据得知: Al的掺杂导致薄膜方块电阻的变化, 随着Al掺杂量的增加, 方块电阻有明显变小的现象, 掺杂6at%Al的AZO薄膜具有最低方块电阻(18Ω/□). 相似文献
32.
城市交通信号控制系统的数据共享对于智能交通系统的建设具有重要的意义,结合XML的特点,建立了基于XML的交通信号控制标记语言SignalML(Signal Markup Language),并以SignalML为通用数据格式设计开发了信号控制交叉口远程在线系统IOLS,通过已开发的嵌入式通信板仿真平台进行了初步的调试,结果表明具有一定的可行性. 相似文献