感应耦合等离子体干法刻蚀锑化铟薄膜研究

应用感应耦合等离子体技术首次实现了对锑化铟薄膜的干法刻蚀。朗缪尔探针诊断结果表明 :射频电源功率为 2 0 0 W时 ,在刻蚀样品附近的等离子体离子密度最大达 6.71 70× 1 0 1 0 cm- 3。以 CCl F2 为刻蚀气体 ,进气流量 2 m L/min,RF功率 2 0 0 W,等离子体反应刻蚀运行气压 7.98Pa时 ,对 In Sb-In薄膜进行了感应耦合等离子体干法刻蚀 ,获得刻蚀图形 ,宽深比为 5     

CCl_2F_2等离子体干法刻蚀InSb-In薄膜的研究

用朗缪尔探针诊断了反应室内的等离子体密度,研究了CCl2F2等离子体对InSb In薄膜的刻蚀,结果表明该实验装置能够产生高密度等离子体,在刻蚀样品表面等离子体密度达到6.7170×1010cm-3,CCl2F2等离子体能有效地对InSb In薄膜进行刻蚀。     

Computer-Controlled System for Plasma Ion Energy Auto-Analyzer

A computer-controlled system for plasma ion energy auto-analyzer was technically studied for rapid and online measurement of plasma ion energy distribution. The system intelligently controls all the equipments via a RS-232 port, a printer port and a home-built circuit. The software designed by LabVIEW G language automatically fulfils all of the tasks such as system initializing, adjustment of scanning-voltage, measurement of weak-current, data processing, graphic export, etc. By using the system, a few minutes are taken to acquire the whole ion energy distribution, which rapidly provides important parameters of plasma process techniques based on semiconductor devices and microelectronics.     

纳米TiO2薄膜的制备及其表面形貌AFM观测

采用溶胶-凝胶法在玻璃载波片及ITO导电玻璃片上制备出负载型纳米TiO2薄膜,并用原子力显微镜(AFM)对不同条件下制备的TiO2的表面形貌进行了表征.结果表明,TiO2薄膜能较好地负载在玻片表面,并且TiO2薄膜的表面形貌与前驱物的配比浓度、基片、热处理温度等都有密切的关系.随浓度和镀膜层数的增大,薄膜中TiO2纳米微晶的颗粒尺寸逐渐增大,从细小均匀粒子膜变为较大不规则的板块结构.在ITO薄膜面形成的TiO2薄膜具有较小的颗粒和均匀的分布.     

Proteus电路设计与仿真在教学中的实践

以具有自启动功能的同步十进制加法计数器的设计与仿真为例,阐述proteus电路设计与仿真在教学中的应用。实践表明,Proteus环境下的虚拟开发环境,具有不受实验室场地、时空的限制,有利于促进专业课程的教学和实验改革,从而实现了真正意义上的电子设计自动化。     

基于双宿主机模式的远程物理实验教学系统

为满足远程实验教学的需要,研制了一套基于双客户机／服务器模式和采用TCP／IP的实验教学系统。该系统实现了学生通过互联网操作实验室的实验设备以及将实验结果实时地返回给远程的实验者,从而在异地完成真实实验过程。     

基于LabVIEW的步进电机控制

为了实现PC机对步进电机的自动调节,设计了基于虚拟仪器技术的步进电机控制方案。系统采用L298N芯片进行驱动,以LabVIEW作为开发平台,并通过串口实现数据通信。结果显示,该系统能够很方便地实现步进电机的转速转向控制,而且利用虚拟仪器开发平台LabVIEW编写上位机程序,具有编程简单,控制界面友好,程序可移植性强的特点。     

用LabVIEW实现自制信号发生器的远程控制

利用LabVIEW的VISA标准和内置的TCP节点,编写客户端和服务器通信程序,实现基于client/server模式的自制信号发生器远程控制.远程用户通过调节虚拟面板的按钮,发送命令到服务器,控制信号发生器产生不同频率和信噪比的波形,得到返回的仪器运行参数值.