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131.
ULSI中CMP纳米磨料制备技术的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了河北工业大学微电子研究所发明成果:15~20nm铜的CMP碱性抛光液、阻挡层CMP碱性抛光液、用于介质CMP的120nm水溶胶磨料抛光液、互连插塞钨和铝的CMP纳米SiOz磨料碱性抛光液及ULSI硅衬底CMP抛光液及切削液、磨削液、倒角液和应力控制技术等研究成果. 相似文献
132.
基于缸内直喷汽油机喷油器积碳的生成机理,开发了一套喷油器积碳形成模拟实验装置及控制系统。该装置主要由基于MAX6675和热电偶设计的喷油器头部加热控制模块、基于驱动电流进行喷射定时和喷射量控制的喷油器控制模块和喷雾箱等组成。在发动机台架和积碳形成模拟装置上进行了喷油器积碳对比试验,两种方式下得到的喷油器积碳成分分析对比表明,发动机喷油器积碳形成模拟系统可以较好地模拟喷油器在发动机内的实际工作情况。 相似文献
133.
依据太阳辐射相关理论和计算模型,运用VB编写程序,计算了全国主要城市全年晴天水平面和任意角度倾斜面上的太阳辐射量,日出时间、日落时间、峰值、全天累计辐射量以及太阳能集热器用于全年和仅冬季采暖所对应的最佳倾斜角度。可预测计算本地区太阳辐射量,并能为相近地区太阳辐射量计算提供参考。能满足一般太阳能工程和科学研究的需要。 相似文献
134.
在TiO2薄膜化学机械抛光(CMP)加工过程中,TiO2薄膜的材料去除速率(MRR)非常重要。对抛光工艺参数进行了优化研究,CMP实验采用自主配制的碱性抛光液对TiO2进行抛光,研究了抛光压力、抛光液流量、抛光头转速和抛光盘转速对材料去除速率的影响。实验结果表明:在抛光压力为1 psi(1 psi=6 895 Pa)、抛光液流量为250 mL/min、抛光头转速为87 r/min、抛光盘转速为80 r/min的工艺条件下,TiO2薄膜去除速率达到61.2 nm/min,既节约了成本又保证了较高的材料去除速率。 相似文献
135.
催化合成对羟基苯甲酸乙酯的研究 总被引:8,自引:0,他引:8
研究了用磷钨酸为催化剂,以苯作带水剂,由地羟基苯甲酸、无水乙醇合成对羟基苯甲酸乙酯,并考察了诸因素对收率的影响。找出了最佳的反应条件。 相似文献
136.
探讨了以季铵盐相转移催化剂合成增塑剂BBP的反应机理,测定了反应动力学性能参数:反应级数为一级,活化能为111.28kJ·mol-1。 相似文献
137.
目前瓦斯抽采中比较成熟的机械造穴增透装置大部分需要以高压水(气)、连杆或者液压油缸等作为驱动刀臂开合的动力,在井下长钻孔中对动力设备要求较高。研制了一款利用钻杆旋转带动产生的离心力作为打开动力的离心式机械刀,通过调节钻杆转速来控制刀臂打开角度;根据初步试验及力学数值模拟分析,针对刀具整体结构、内部齿条、轴销、刀臂等薄弱部位材质进行优化。在山西某矿N1100回风巷进行了工业性试验,对比机械造穴和水力造穴施工时间及抽采纯量,验证了离心式机械刀结构设计的合理性和可靠性。结果表明:机械造穴试验孔达到了良好的造穴及抽采效果,该装备能够降低瓦斯抽采孔造穴增透对高压设备的依赖,单穴作业时间较水力造穴缩短近1/2,瓦斯抽采量提高了1.67倍。 相似文献
138.
139.
洪峰传播时间是水文预报中的一个重要因素,为了较好地做好黄河下游洪峰传播时间的预报工作,依据洪水波运动的基本规律,结合黄河下游特有的断面形态和河槽的变化规律,分析研究了黄河下游的水面比降、水流阻力与洪峰传播时间的变化关系,进一步探讨洪峰传播时间与河床糙率关系建立的方法。 相似文献
140.
高支模是施工进度和安全控制的关键环节。它不仅对工程自身质量具有重大影响,还会影响到人身安全和巨大财产损失。对于这一施工技术重点难题,本文以某工程为例,探讨总结了其高支模的计算、支撑、搭设、质量验收等一系列问题的施工方法和保障措施,模板各方面验算均可满足相应规范规程要求。 相似文献