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随着集成电路特征尺寸不断缩小到14 nm及以下,钌凭借其低的电阻率、对铜高的依附性而被考虑替代传统阻挡层材料Ta/TaN。但是,钌作为阻挡层材料依然存在很多问题,如低去除速率、容易引起铜的界面腐蚀、铜钌去除的不均匀性。针对以上问题,主要从三个方面介绍了近几年的研究进展。首先,介绍了氧化剂及络合剂对钌去除速率的影响;然后,总结了针对铜钌界面腐蚀问题的研究进展;最后,阐述了国内外解决铜钌去除速率选择性问题的研究进展。此外,提出未来新型阻挡层钌的抛光液的研究应综合解决上述问题,而非单一解决,才能真正应用于生产领域。 相似文献
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为进一步加强布谷鸟算法的搜寻能力并提升收敛速度,加快对算法的研究与应用进程,综述了布谷鸟算法的原理、研究概况和其他同类群体智能优化算法的比较及发展趋势。首先给出了算法的基本模型和实现步骤;然后重点阐述了基于发现概率和步长控制量、基于自适应步长、基于混沌理论、与其他算法混合、基于种群特征和种群变异、结合优化策略及基于种群多样性等方面的改进方法,总结了算法的主要应用领域及其进展;随后将其与遗传算法、蚁群优化算法、粒子群优化算法及人工蜂群优化算法的优点、缺点及适用性诸方面进行了对比;最后指出了布谷鸟搜索算法尚存在的缺陷并对进一步的研究方向进行了展望。 相似文献
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随着遥感技术的不断发展,遥感数据普及应用程度逐步提高,海量遥感数据安全和版权问题面临着巨大的挑战。由于WebService技术的跨平台性和低耦合等优势,其对处于复杂网络环境中的监控系统有着重要的作用,因此,通过WebService技术实现对数字水印加密过程的监控具有一定的研究意义。以Java EE的三层结构为设计思想,文中开发了一套基于B/S架构的数字水印加密监控系统,通过模块化的编程,实现了3种功能:水印实时监控、叛逆者追溯、水印操作情况统计。其主要的服务用WebService接口提供,具有异构程序耦合性及高可靠性和可扩展性,更适合当前网络技术的发展。通过对WebService技术的研究及海量遥感数据流的特点设计出了更为实用、可靠的监控系统,在保证系统稳定的前提下,提高了开发效率及数据监控的实时可靠性。 相似文献
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智能制造是制造技术与数字化技术、智能技术及新一代信息技术的交叉融合,是未来食品制造的必然发展趋势。作者从食品智能设计与优化、食品生产智能管控、食品制造装备智能化等方面综述并展望了智能制造技术在食品工业中的现状及发展趋势,以期为食品智能制造在食品工业发挥更大的作用,引领食品工业跨入智能发展新阶段提供参考。 相似文献
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目的检测収酵食品倒笃菜中细菌和真菌菌群结构。方法利用第二代高通量测序对倒笃菜中的真菌和细菌菌群结构迚行测定分析。结果检测出倒笃菜产品中,细菌群落中占主要地位为假单胞菌属(Pseudomonas)、拟杆菌属(Bacteroides)和Faecalibacterium属,分别占比例为11.4%、9.3%和8.9%,而对収酵起至兲重要的芽孢乳杆菌属(Lactobacillus)仅占比例为1.1%。倒笃菜中真菌群落中占主要地位的真菌菌属为曲霉属(Aspergillus),占比为88.8%,而其余真菌占比仅为11.2%。其中,曲霉真菌属中存在可以产生真菌毒素的黄曲霉菌(A.flavus)、寄生曲霉菌(A.parasiticus)等。结论结果表明传统腌制倒笃菜产品中可能会存在一定的致病细菌与可产真菌毒素的真菌,从而有引起食品安全问题的风险,因此,应迚一步对倒笃菜微生物的安全性迚行深入检测分析。 相似文献
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