TSV硅衬底CMP后表面微粗糙度分析与优化

为实现TSV硅衬底表面微粗糙度及去除速率的优化,对影响TSV硅衬底精抛后表面微粗糙度的关键因素——抛光液组分的作用进行分析。采用正交实验方法进行精抛液组分(包括有机胺碱、螯合剂、磨料和活性剂)配比控制的组合实验。实验结果表明,抛光液组分中活性剂体积分数对CMP过程中硅衬底片表面微粗糙度及去除速率的影响最为显著。优化抛光液组分配比条件下,CMP后硅衬底表面微粗糙度可有效降到0.272 nm(10μm×10μm),去除速率仍可达到0.538μm/min。将优化后的抛光液与生产线上普遍采用的某国际商用抛光液进行对比,在抛光速率基本一致的条件下,粗糙度有效降低50%。     

XRN技术简介

XRN(eXpandable Resilient Networking,可扩展的弹性网络)技术是通过将多台网络核心设备分布式地互联在一起构成一个独立的三层交换核心,赋予网络管理者随时随地提高网络性能或增加端口的能力。管理人员可以将XRN技术的分布式核心架构当作一个统一的整体来进行管理,从而使全部交换和路由工作能够在多台局域网核心设备之间进行分配。     

基于四维混沌系统的图像加密研究

随着计算机技术、信息技术和通讯技术等高科技技术在近年来的迅猛发展,信息加密越来越受到人们的重视,提出了基于四维混沌系统用来实现图像加密的方法,并利用迭代次数和方式作为密码,实现了图像加密和解密,为信息加密提供了一种新方法.     

远程抄表采集器

为使远程抄表系统采集器更为灵活和智能,文中给出基于MSP430单片机的采集器设计方案,通过可配置参数和实时时钟,实现表具类型远程设定及复费率计费功能,并具有低成本、低功耗等特点,适合在包含水、电、煤三表的远程抄表系统中采用.     

高中数学新教材的特点初探

现代社会,教育必须培养更具创造力和锲而不舍、追根究底的人才,来解决新世纪社会发展所带来的各种问题;面对新时代更多元的世界文化,也需要一种具有团队精神、愿意与他人合作、肯随时随地学习新知识和不断充实自我的人。目前的教育现状是不能满足这种要求的,教育必须改革,而教育改革又当以课程改革为要,课程改革应首改教材。本文着重探讨了高中数学新教材对于课程改革的作用。     

ULSI多层铜布线CMP影响因素分析研究

研究了ULSI多层互连工艺中铜布线的CMP的机理;对影响抛光速率和抛光后表面状态的诸因素,如抛光条件、抛光方式和抛光耗材进行了分析;特别针对抛光液对铜布线CMP的影响,提出了目前存在的主要问题,并对未来的研究方向和研究内容进行了展望。     

基于风电、储(热)供暖系统的电网优化调度研究

为了解决北方风电弃风严重的问题,提出通过蓄热式电锅炉进行供暖消纳风电的策略.首先考虑到风电具有不确定性,通过对预测误差区间离散化处理,建立误差较小的风电预测模型.然后将电网系统与供暖系统结合,实时监测供暖系统的出水、回水温度,通过电网调度发布指令,并以弃风率最小为目标函数进行优化调度.最后通过北方某地区的供暖数据,建立...     

环境漫谈

前些天与朋友一起爬了一座山，一座幽幽的山，有树、有石、有曲回的小径，更有数不尽的青石阶。爬山要低头，竟忘了欣赏那幽静冬山的清高沧远，清冷的     

一年之计在于春

正一年之计在于春。南方的春天总是特别短暂,骤升的气温、灿烂的阳光提醒着人们要抓紧这最美好的时节。在温州,电力工人已经在各项检修工程中干得热火朝天。3月9日,瓯江之上,百米高空,500千伏乐天—乐柱线正在进行停电检修。500千伏乐天—乐柱线是温州电网的骨干组成部分,此次是国网浙江温州供电公司首次独立承担500千伏输电线路的检修工作,