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化学机械平坦化(CMP)过程中,抛光液的化学作用对平坦化效果起着不可替代的作用。介绍了碱性抛光液中氧化剂(H2O2)对铜布线CMP的作用:H2O2对铜的强氧化性可以将铜氧化为离子状态,然后在螯合剂的螯合作用下快速去除铜膜;H2O2对铜的钝化作用可以保护凹处铜膜不被快速去除,从而有效降低高低差。此外,还研究了碱性抛光液中不同H2O2浓度对铜的静态腐蚀速率、动态去除速率及铜布线平坦化结果的影响。研究表明:抛光液对铜的静态腐蚀速率随H2O2浓度的增大逐渐降低然后趋于饱和;铜的动态去除速率随H2O2浓度的增大而逐渐降低;抛光液的平坦化能力随H2O2浓度的增大逐渐增强再趋于稳定。 相似文献
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吐哈雁木西油田为高盐中低渗透油藏,目前已经进入特高含水率开发阶段。为提高该油田的采收率,以油田储层地质特征和流体性质为模拟对象,开展了聚合物溶液油藏适应性研究。结果表明,聚合物相对分子质量和浓度对聚合物溶液与岩心的配伍性均有影响。当聚合物质量浓度为300数900 mg/L、相对分子质量为800×10~4数2000×10~4时,聚合物溶液对应的渗透率极限范围为20×10~(-3)数70×10~(-3)μm~2。在聚合物相对分子质量一定时,随聚合物浓度增加,渗透率极限增加,聚合物分子线团尺寸Dh呈指数型增加;在聚合物浓度一定时,随聚合物相对分子质量增加,渗透率极限和Dh增大。由渗透率极限岩心孔隙半径中值与Dh间的关系可以得到对应的配伍区和堵塞区。对于雁630区块,油层累积厚度比达到60%时对应的储层渗透率为60.5×10~(-3)μm~2,采用相对分子质量1700×10~4和900 mg/L聚合物溶液可以满足进入规定储层厚度的要求。若采用相对分子质量较低的聚合物,则聚合物浓度需相应提高。图9表2参22 相似文献
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采用灰度图像分析方法获取页岩孔隙结构参数是目前页岩微观结构表征的一种重要手段。在扫描成像过程中,往往需要根据样品自身特点调节亮度、对比度等参数以达到较好的成像效果,这会导致不同视域、不同样品的图像灰度分布特征发生变化,从而导致识别孔隙的灰度阈值产生差异。为了实现统一标准识别页岩孔隙,研究以SEM图像为例,由图像灰度分布影响因素分析入手,在提取一系列标志参考物灰度的基础上,通过合成灰度累计概率分布建立了待校正图像的代表性灰度分布,在此基础上确定了待标准图像与标准图像合成灰度累计概率分布之间的映射关系,采用图像灰度直方图匹配算法实现了图像标准化。研究结果表明,页岩中的孔隙、有机质、自生石英、黄铁矿等4种组分组合后可覆盖整个图像灰度分布,是有效的标志参考物组合。利用该标志物组合所合成灰度累计概率分布作为不同图像间的对比参数进行标准化,可以消除组分含量差异对灰度分布的影响,达到校正对比度和亮度等扫描参数设置差异对图像灰度的影响。经验证,该方法对采用不同拍摄参数的图像均具有较好的应用效果,经过标准化处理后的图像能够实现同一灰度阈值自动识别页岩孔隙和有机质等地质元素,提高了图像提取孔隙结构参数的可对比性,为页岩微观图像孔隙结构定量分析提供了可靠基础。 相似文献
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AWGN和FEXT噪声下铜双绞传输线的信道容量 总被引:3,自引:0,他引:3
本文研究加性白高斯噪声和远端串音两种噪声并存时铜双绞传输线的信道容量,用数值方法给出了不同线路长度和不同输入功率时的信道容量,研究了达到信道容量时的最优输入功率谱密度分布。计算结果表明,在加性白高斯噪声和远端串音同时存在时,信号的输入功率谱不再为均匀分布,这种不均匀性随着输入功率的增加更为明显。这与干扰为纯白高斯噪声时,最优输入功率谱近似为均匀分布的结果是不同的。 相似文献
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通过对淮北桃园矿8224机巷锚喷合理支护参数的观测分析,优化了锚杆支护参数,在保证巷道支护安全的前提下,提高了成巷速度,降低了支护成本. 相似文献
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500kV电容式电压互感器预试时的电容量和介损测试分析 总被引:2,自引:0,他引:2
阐述了500kV电容式电压互感器在不拆一次引线进行预防性试验时测量电容量和介质损耗因数的方法和技术,并进行了理论推导和实例分析。分析结果表明:该测试方法易操作、误差小,泽现场预试有一定的指导意义。 相似文献
99.
一种接入信息高速公路的新技术ADSL 总被引:1,自引:0,他引:1
新近出现的非对称数字用户线(ADSL)技术利用用户网中现有的铜双绞线提供1.5~6Mb/s的下行数字信道,为接入信息高速公路提供了一条新途径,本文首次论述ADSL的基本概念,技术,发展现状和应用,最后论述我们对发展我国ADSL接入设备的几点建议。 相似文献
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本文首先建立了平板状有耗双各向异性波导的模型,并将其传输模的横向场分量用纵向场分量来表示。用数值方法分析了高阶混合模的模分裂和场分布特性,并且考察了介质的各向异性和损耗程度对混合模的影响。 相似文献