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声表面波(SAW)滤波器因其小型化、低插损及高品质因数(Q)值等性能,已广泛应用于移动通信系统中。钽酸锂(LT)/SiO2/Si结构克服了传统温度补偿型声表面波(TC-SAW)器件制备工艺难的问题,但需减薄该结构上的LT厚度,而减薄过程会导致晶圆表面有损伤残留,影响器件性能。针对这个问题,该文开展了基于减薄与抛光制备LT减薄片的工艺研究,分析了砂轮目数、砂轮与工作台转速、砂轮进给率等减薄参数对LT晶圆表面损伤的影响,以及抛光压力对损伤的去除效果。研究结果表明,在优化的工艺参数下,减薄抛光后晶圆表面粗糙度为0.187 nm,损伤深度小于1 nm,减薄片制备的TC-SAW谐振器的阻抗图和Smith圆图表明晶圆性能和一致性良好。 相似文献
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高热密度通信机房的空调解决方案 总被引:1,自引:0,他引:1
针对通信机房建设中的高热密度问题,结合国内外经验,提出优化的空调解决方案。 相似文献
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霍林河一号露天矿煤层赋存条件复杂,采煤需要选采,剥离须穿孔爆破破碎排弃,为了简化采煤、剥离工作面作业环节,降低运营成本,对露天采矿机工艺在霍林河一号露天矿采煤及剥离工程中应用的可行性进行研究。 相似文献
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导弹在飞行过程中,高度、速度、攻角、动压等变量变化剧烈,如何在其大范围变化情况下设计满足要求的自动驾驶仪是研究的重点所在.论文利用线性参数时变方法对导弹动态系统完成建模过程,并采用线性分式变换将控制器设计问题转换为设计名义主控制器与根据飞行状态实时调整的参数控制器的过程,同时以混合H2/Hinf为性能指标,利用线性矩阵不等式对上述问题完成求解.最后以导弹自动驾驶仪设计为例对文中算法进行仿真验证,经验证表明此算法可以满足跟踪指令输入并具有较好的鲁棒稳定性. 相似文献
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