基于晶圆减薄工艺的LT减薄片制备

声表面波(SAW)滤波器因其小型化、低插损及高品质因数(Q)值等性能,已广泛应用于移动通信系统中。钽酸锂(LT)/SiO₂/Si结构克服了传统温度补偿型声表面波(TC-SAW)器件制备工艺难的问题,但需减薄该结构上的LT厚度,而减薄过程会导致晶圆表面有损伤残留,影响器件性能。针对这个问题,该文开展了基于减薄与抛光制备LT减薄片的工艺研究,分析了砂轮目数、砂轮与工作台转速、砂轮进给率等减薄参数对LT晶圆表面损伤的影响,以及抛光压力对损伤的去除效果。研究结果表明,在优化的工艺参数下,减薄抛光后晶圆表面粗糙度为0.187 nm,损伤深度小于1 nm,减薄片制备的TC-SAW谐振器的阻抗图和Smith圆图表明晶圆性能和一致性良好。     

RF反应溅射法制备NiFe/Al2O3/Co磁性隧道结研究

采用RF反应溅射法制备了室温下TMR值达6.5%的NiFe/Al2O3/Co磁性隧道结.样品制备采用一系列的掩模,Al2O3层的制备采用RF反应溅射并原位热氧化方法,隧道结的面积为0.2mm×0.2mm.样品的Ⅰ-Ⅴ特性曲线说明了样品中隧道效应的存在,利用XPS分析了样品界面特性及样品成分随膜厚的变化.     

微执行器驱动机理研究

微电子机械系统(MEMS)技术在未来的发展有着重要的意义，文章介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点，并以微电动机为例，详细比较了其执行机制和原理。     

三种两段缺氧A~3/O-MBR工艺脱氮除磷效率分析

以太湖流域3座采用两段缺氧的A3/O—MBR工艺的城市污水处理厂(城北污水处理厂、硕放污水处理厂及太湖国家度假区污水处理厂)为研究对象,介绍其工程概况和主要运行参数。通过对这3座污水处理厂运行效果的分析比较,初步研究其脱氮除磷效率。结果表明,各污水处理厂的氮磷去除效果均较好,出水水质稳定达到《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB 18918—2002)中的一级A排放标准,增加后置缺氧段的A2/O/A—MBR工艺强化了脱氮除磷功能,去除效果明显优于其他2座污水处理厂。     

基于Ni/Al2O3整体式催化剂的生物质气化合成气甲烷化研究

以生物质气化模拟合成气H2/CO/N2为原料气,以堇青石蜂窝陶瓷为基体制备Ni/Al2O3整体式催化剂,通过扫描电镜(SEM)、比表面积(BET)、X射线衍射(XRD)、程序升温反应法(TPR)、热重分析(TG)等表征分析手段,考察催化剂制备方法(浸渍法和溶胶-凝胶法)、温度(250~550℃)及空速GHSV(6000~14000 mL/(g·h))对催化剂甲烷化性能的影响。结果表明:浸渍法制备的Ni/Al2O3催化剂(DIP-Ni/Al2O3)与溶胶-凝胶法制备的Ni/Al2O3催化剂(SGNi/Al2O3)相比,前者甲烷化性能较好。在H2、CO、N2物质的量之比为3∶1∶1且空速为10000 mL/(g·h)条件下,浸渍法制备的Ni/Al2O3催化剂在400℃时甲烷化性能最佳,且该条件下CO转化率为98.6%,CH4选择性为90.9%。当H2、CO、N2物质的量之比为3∶1∶1且温度为400℃时,在实验空速范围内,浸渍法制备的Ni/Al2O3催化剂CO转化率和CH4选择性均基本稳定在90%,甲烷化性能较好。     

巨磁电阻效应自动测试系统研究

随着巨磁电阻效应(GMR)研究的广泛开展,方便、快速的磁电阻测试已成为研究GMR效应的基础。文中介绍了巨磁阻效应计算机自动测试系统平台的建立。对自旋阀和磁性隧道结材料测试结果表明,这里所建立的测试系统能方便、快捷地测试磁性多层膜材料的GMR效应。     

基于LabVIEW的虚拟频率补偿仪的设计

虚拟仪器是计算机技术和传统仪器仪表技术相结合的产物,是仪器发展的一个重要方向。LabVIEW是一个基于图形化编程语言的虚拟仪器软件开发工具。文中基于Lab-VIEW图形化编程语言,针对实际测量中测量系统的工作频带不能满足测量允许误差的问题,采用数字滤波的方法设计了虚拟频率补偿仪,较好地改善了系统的动态特性。该仪器灵活性强,用户可以根据自己的需要任意设置补偿参数,具有硬件方法不可比拟的优越性。     

热释电红外探测阵列的工作原理、性能指标及应用

介绍了热释电效应和热释电红外探测阵列的工作原理及工作模式,分析了几个重要和常用热释电探测阵列的性能参数,并简述了此阵列的发展情况及其在军、民领域的应用.     

暗挖隧道施工安全控制浅谈

针对暗挖隧道特点，结合相关规范要求和自身工作经验，从防护用品、通风、照明、临时用电、安全通道、开挖、初期支护、气体检测等方面入手，阐述了暗挖隧道施工安全控制措施，以期指导实践。     

WD615发动机低负荷热平衡分析

通过对WD615发动机低负荷工况的热平衡分析,确定了该发动机的能量分配关系,计算出了可以利用的冷却水包含的能量,为实现利用发动机冷却水能量为大客车冬季取暖做了准备。