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71.
纳米技术在半导体陶瓷气体传感器中的应用 总被引:8,自引:1,他引:7
纳米技术可获得高活性的气敏陶瓷材料,利用纳米技术的二大效应即表面效应和量子尺寸效应,可使气体传感器的灵敏度和选择性提高,着重地介绍气敏材料纳米化的机理基础,制备方法及工艺控制。 相似文献
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针对半导体气体传感器存在选择性差的问题,通过温度调制检测方法实现可燃性气体良好检测性能,提高传感器在复杂环境下的选择性。设计了一种参数可调的气体传感器温度调制系统,实现了正弦波和矩形波输出模式,输出频率0~1000 Hz,幅值0~5 V可调,矩形波占空比可调,并给出了系统总体设计方案和硬件设计电路。通过自制旁热式SnO2传感器对CO和CH4两种可燃性气体进行了矩形波温度调制检测分析,得到了优化的温度调制参数。提出以传感器在空气和被测气体响应中温度调制幅值比作为灵敏度系数。测试结果表明,CO和CH4气体在周期10 s的方波温度调制下呈良好的近似线性规律变化,且具有较好的线性度差异,表明两种气体具有选择性差异。 相似文献
73.
74.
本文阐述了用化学合成法合成HClO4掺杂聚苯胺(PANI)和酞菁钯(PdPc),以松油醇为溶剂,将它们以不同比例相互杂化混合,再以微加工技术和溅射镀膜技术制作了平面微电极陶瓷基片,用涂膜工艺制作了7种不同混合比例的有机复合膜元件(PANI)x(PdPc)1-x.用静态配气法在气体浓度为0.01%时,对多种毒性气体逐一进行气敏特性测试.结果表明,PdPc对NO2呈N型半导体,灵敏度为0.06倍;HClO4掺杂PANI对SO2呈N型半导体,灵敏度为0.0023倍;x=1/6时,敏感膜对SO2、NO、Cl2也呈N型半导体,灵敏度分别为0.02倍,0.09倍,0.046倍.可通过选择不同的配比实现传感器的气敏选择性. 相似文献
75.
76.
用于探空仪的加热式湿度传感器及测量电路 总被引:1,自引:0,他引:1
针对探空仪湿度传感器在高空低温、高湿恶劣环境下容易结露,湿度波动大、电路板分布电容对测量结果有影响等问题,研究了具有蛇形加热器的平板夹心电容式湿度传感器及其工艺制备方法,并设计了测量电路。采用微机电系统(MEMS)加工工艺设计了加热式湿度传感器,通过对传感器进行有限元分析,确定了传感器表面加热区域温度分布情况,得出了环境温度、加热功率与加热温度三者之间的函数关系。提出一种基于电容充放电及比较法的湿度测量电路,从而有效地抑制了温度漂移和零点漂移,减小了寄生电容对测量结果的影响。地面实验结果显示:湿度传感器灵敏度约为2.3%RH·pF-1,迟滞约为0.7%F·S,重复性约为1.9%,测量总不确定度约为4%,时间常数约为0.5s。本文研究的湿度传感器及其测量电路具有很好的温度稳定性,能够在低温环境下正常工作。 相似文献
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提出了基于GPRS的环境温湿度监测系统的设计方案。针对对温度湿度有要求的环境,通过带有高精度温湿度传感器的数据采集终端采集环境温湿度数据,后经由GPRS无线模块将数据传输到监控室电脑实时显示。采用TCP点对点入网连接方式,主要针对没有网络环境的监控中心,客户无需申请公网IP地址或开通专用APN,只需在监控端接上一个接收模块,即可方便地实现远距离数据传输。整个数据采集终端由MSP430单片机进行控制,不用改动硬件,只通过对软件的修改调整,即可满足不同GPRS入网方式下的通信,拥有良好的扩展性能。实验测试表明,该系统精度高,运行稳定,满足系统设计要求。 相似文献