CuAu合金溅射原子角分布的实验研究

荷能离子轰击固体复合材料表面时某种成分的择优发射现象,是人们很感兴趣的研究课题。这是因为,择优发射机制至今尚不清楚。同时,很多现代表面分析设备,诸如俄歇电子     

In~+离子注入蓝宝石(α-A1_2O_3单晶)的表面改性研究

研究了＜０００１＜和＜１２１０＞晶向蓝宝石（α－Ａｌ２Ｏ３单晶）在注入３６０ｋｅＶ．１×１０￣１６ｃｍ￣－２或１００ｋｅＶ、６×１０￣１６ｃｍ￣－２的Ｉｎ￣＋后产生的损伤、注入层的性能变化和退火行为。实验结果表明，退火过程中损伤的恢复和Ｉｎ的分布与退火气氛有关：在１００ｋｅＶ、６×１０￣１６ｃｍ￣－２的Ｉｎ￣＋注入时，注入层电阻率降低了１０个量级，大小为６．８×１０￣３·ｃｍ，表面损伤层的显微硬度提高了９２％；在３６０ｋｅＶ，１×１０￣１６ｃｍ￣－２的Ｉｎ＋注入时，其表面损伤层的显微硬度提高了４５％，在空气中不同温度下退火后，其显微硬度的变化和损伤的变化具有相同的规律。     

关于Cu-Au合金溅射机制的研究

本文报导了用热中子活化分析法测量在不同剂量Ar~+离子轰击下Cu-Au合金的溅射产额     

用沟道技术研究反应离子束刻蚀所引起的晶体表面损伤

在大规模集成电路发展过程中,随着集成度的不断提高,要求电路的线条不断变细,等离子、离子束及反应离子刻蚀等加工工艺将起着重要的作用。它们为大规模集成电路生产提供了强有力的微细加工手段。离子束刻蚀类似于机械研磨,离子束能量和样品的位置可变,具有各向异性。在加工过程中,样品表面存在一定量的损伤,从貌相看还存在起伏不平的“小丘”。等离子和反应离子刻蚀克服了各项异性,但离子能量和刻蚀的方向不可调节,所以也有局限性。     

高剂量铂和钇离子注入Al2O3单晶的表面改性

研究了〈０００１〉和〈１２↑－１０〉晶向α－Ａｌ２Ｏ３单晶在高剂量的Ｙ、Ｐｔ离子注入后产生的损伤,注入层的性能变化和退火行为。实验结果表明,在室温,１７１ｋｅＶ、１×１０＾１７／ｃｍ＾２Ｙ离子注入的〈１２↑－１０〉α－Ａｌ２Ｏ３单晶的表面层约有１３９ｎｍ厚被无定形化。而１５８ｋｅＶ、９×１０＾１７／ｃｍ＾２Ｐｔ离子注入的〈０００１〉α－Ａｌ２Ｏ３单晶的表面层不产生无定形,且实际离子注入进衬底的剂量     

砷注入硅背散射沟道研究

我们对能量从40keV～150keV,剂量从1×10~(15)离子/cm~2～1×10~(16)离子/cm~2砷离子注入〈111〉单晶硅,进行了H~+和He~+背散射沟道测量。样品经600℃、700℃、825℃热退火后,都未能满意地消除损伤,而经红宝石脉冲激光退火之后,能满意地消除损伤。对40keV剂量为1×10~(16)离子/cm~(275)As~+注入的硅样品,分别进行900℃、30分钟热退火和红宝石脉冲激光退火,而后分别测量了〈111〉轴向和〈110〉轴向背散射沟道谱,砷原子的替位率分别为90％和95％以上,同时对两种退火方式的样品,测量了〈111〉轴向的角分布,观察到在热退火情况下,杂质砷原子的角分布有变窄的现象,大约窄0.2°;脉冲激光退火杂质砷原子的角分布与硅原子的角分布重合得相当好。我们又在连续打七个激光脉冲的斑点上测量了表面砷原子浓度的横向分布,其形状近似于高斯分布。     

基于嵌入式技术的智能机器人系统研究

结合当前机器人技术和嵌入式技术的融合发展方向,提出了一种基于ARM9和μC/OS-Ⅱ的智能机器人系统,给出了机械结构设计、硬件设计、软件设计等系统设计过程,研究分析了采用的巡线控制算法。     

在视音频切换器上加装视频自动切换报警电路

电视台播出电视信号时，常因为设备故障、自然气候影响或人为失误等原因造成加到发射机的图像信号衰落或中断，这对安全优质播出和发射设备的不良影响是不言而喻的。视频自动切换报警电路是在发生图像信号衰落或中断时能自动将视频输人切换到图像图形发生器所供信号（如彩条信号、测试卡、“信号中断清稍候”文字信号）上，以保持视音频切换器视频输出（即加到发射机的图像信号）的连续性，并同时告警，提示值机人员检查和排除故障。正常图像信号恢复时，该电路又能自动将视频输人切换回到正常播出图像信号位置。一般来说，加到视音频切换器…     

背散射法测定低能氩离子对金的溅射率

本文用背散射方法测定了300—1200eV不同能量的氩离子对金的溅射率。实验测得的背散射能谱用两种不同的方法(能量损失和面积法)处理,结果表明,用背散射法测得金的溅射率与G.K.Wehner用称重法测定的数据很接近,其与入射离子能量的关系为Y∝E~(0.4)。     

在视音频切换器上加装视频自动切换报警电路

电视台播出电视信号时,常因为设备故障、自然气候影响或人为失误等原因造成加到发射机的图像信号衰落或中断。这对安全优质播出和发射设备的不良影响是不言而喻的。视频自动切换报警电路是在发生图像信号衰落或中断时能自动将视频输入切换到图像图形发生器所供信号(如彩条信号,测试卡;“信号中断请稍候”文字信号)上,以保持视音频切换器视频输出(即加到发射机的图像信号)的