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71.
SiO2/Si衬底制备ZnO薄膜及表征 总被引:2,自引:0,他引:2
本文报道了利用脉冲激光沉积技术在热氧化p型硅衬底上生长ZnO外延薄膜.引入高阻非晶SiO2缓冲层,有效地降低了检测过程中单晶衬底对ZnO薄膜的电学性能影响.利用XRD,SEM,Hall和PL对其进行研究.结果表明,在衬底温度为500℃时,生长的ZnO薄膜具有优良的晶体质量,电学性能和发光性能. 相似文献
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在室温条件下,采用脉冲激光沉积技术在玻璃衬底上生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明,ZnO薄膜为六方纤锌矿结构并沿c轴取向生长,且(002)衍射峰的半高峰宽仅为0.24°.薄膜沿c轴方向受到一定的张应力为1.7×108 N/m2.原子力显微镜分析表明薄膜表面较为平整,平均粗糙度约为6.5 nm,晶粒尺寸约为50 nm.此外,透射光谱分析表明薄膜的禁带宽度为3.25 eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30 eV基本相同. 相似文献
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74.
N-Al共掺ZnO薄膜的p型传导特性 总被引:7,自引:0,他引:7
利用直流反应磁控溅射技术制得N-Al共掺的p型ZnO薄膜,N2O为生长气氛.利用X射线衍射(XRD),Hall实验,X射线光电子能谱(XPS)和光学透射谱对共掺ZnO薄膜的性能进行研究.结果表明,薄膜中Al的存在显著提高了N的掺杂量,N以N-Al键的形式存在.N-Al共掺ZnO薄膜具有优良的p型传导特性.当Al含量为0.15wt%时,共掺ZnO薄膜的电学性能取得最优值,载流子浓度为2.52e17cm-3,电阻率为57.3Ω·cm,Hall迁移率为0.43cm2/(V·s).N-Al共掺p型ZnO薄膜具有高度c轴取向,在可见光区域透射率高达90%. 相似文献
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土壤水分是水文、气象和农业环境研究中的重要参数,应用微波特别是雷达进行土壤水分的反演估算是当前研究的热点。探讨了当前对土壤水分研究的方法,通过对比分析前人结果提出了应用半经验模型和神经网络算法(SM—NN)相结合估算土壤水分的方法及过程。 相似文献
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核裂变是一个复合裂变核在它们的断点形成两个质量数相差不太多的大形变碎片过程。由于弯曲(bending)和扭动(wriggling)激发以及断裂后碎片间Coulomb力引起的Coulomb激发,形成的大形变碎片将具有大的角动量。当在断点分离后的碎片回到它们的基态平衡形状时,形变能与它们在断裂前取得的内部激发能一起构成了碎片发射中子的动力,而碎片具有的角动量将以γ光子发射形式释放出来。由于核的中子发射宽度Γn远远大于γ光子发射宽度Γγ这一事实,因此,裂变碎片的γ光子发射是中子发射后的角动量退激过程。鉴于每次裂变的中子多重性ν和γ光子产额… 相似文献