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本文介绍作者自行设计的原子层沉积(ALD)实验系统和所沉积薄膜的检测结果。为了研究ALD技术,作者设计了一套试验性的ALD沉积系统。该系统主要由反应腔、前驱体容器、真空泵、控制系统等部件构成。两个前驱体容器带有加热装置,支持气体或液体前驱体。前驱体、反应腔的温度,沉积过程中气体的交替,以及各种参数都可以设定,并由控制系统自动控制。在系统测试中,使用Al2(CH3)3和H2O作为前驱体,在含有Si-H键的Si基片上沉积Al2O3高k介质薄膜。使用电子探针分析仪分析薄膜成分后,证实了所沉积的薄膜是Al2O3。使用XPS分析薄膜表面时只检测到Al,O元素,没有检测到Si元素,说明Al2O3薄膜是连续的,完整地覆盖了Si表面。使用X射线光电子谱检测元素面分布的结果显示,Al,O在Si上的分布具有较好均一性,表明Al2O3薄膜的均匀性良好。使用电子束照射已沉积Al2O3的Si基片时,发现有大量电子累积在薄膜表面,说明所沉积的Al2O3具有良好的介电性。 相似文献
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岩石材料是一种非均质材料,而破裂岩是指岩体内部含有大量的裂隙、空洞、界面等缺陷,在荷载作用下其微元体破坏更具有随机性。在损伤理论的基础上,从微元体的强度随机分布的角度出发,在微元体强度度量方法上考虑损伤阈值的影响,假设破裂岩的微元体强度服从Weibull分布,结合考虑中主应力的SMP准则,建立破裂岩统计损伤软化本构模型,运用多种计算方法对模型参数m和F0进行确定。通过对小官庄铁矿2种破裂岩闪长玢岩以及矽卡岩的验证表明:在不同围压下,全应力-应变试验曲线与预测曲线吻合良好,能够反映损伤阈值的影响,且在较低围压下更为理想。同时,此模型能够反映随着围压的增加岩石的峰值强度增加而延性增大的性质,进一步验证模型的适用性及较强的应用价值。 相似文献
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为了应对日益突出的食品安全问题,食品检测机构不断增多,整个行业也在不断地积极加强自身检测体系的建设,以提高检测能力。本文总结了近年来食品检测行业在实验室质量管理方面的经验,阐述了检测机构在综合化的网络服务能力、主流仪器设备的充实,以及实验室资质认可和提高等方面的质量管理现状,着重分析了在样品采集、检测技术开发、专业人才培养,以及信息化建设等方面存在的问题,并提出了相应的改进措施和建议,以推动食品检测行业的发展,更好地为社会服务。 相似文献
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轻骨料对混凝土中减水剂塑化效果的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
本文以塌落度及其依时损失为评定指标,系统地研究了轻骨料含水状态、粒径及减水剂掺加方法对减水剂在轻骨料混凝土中塑化效果的影响,并通过该项研究对掺减水剂轻骨料混凝土的施工提出了建议。 相似文献
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对以前的充填体胶结自立强度理论进行修正,推导了人工充填关键层厚度计算公式,得到较为经济合理的充填关键层厚度,进而在保证工作面正常安全生产的基础上,可以利用分层充填的方式对节约成本产生积极作用,同时也为实现小窑开采破坏区域煤炭资源的回收提供了有效途径。 相似文献
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