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为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺,提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器,并采用电磁激励实现传感器的闭环控制.实验中发现:由于采用扩散硅材料,传感器受到较为严重的同频干扰影响,因此,消除传感器的同频干扰成为需要解决的一个主要问题.通过对采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器微结构进行分析,建立了传感器主要噪声来源同频干扰的等效电路模型,据此提出一种新的不对称双端激励解决方法.实验结果表明,该方法可有效地降低传感器的同频干扰,传感器的信噪比由1.53提高至35,为传感器闭环激励和检测提供了有效的手段. 相似文献
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选择氯化钙为添加剂,在一定条件下发生钙与钠、钾的铝硅酸盐同晶置换,使铷形成可溶于水的碱金属氯盐。通过焙烧单因素条件试验,在添加剂量为矿物质量的1倍、950℃焙烧1.5h的最优热解条件下,Rb_2O回收率高于98%。 相似文献
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电阻阵列动态红外景像产生器 总被引:9,自引:0,他引:9
基于微机械加工技术发展起来的电阻阵列是动态红外景像产生器的一种。它可在半实物(HWIL)仿真系统中用来对红外摄像机、导弹寻的器以及各种红外探测系统的实时性能进行测试和评估。电阻阵列是以电阻元件为微辐射元,当电流流过时,电阻元产生热量,从而产生红外辐射。通过控制流过每个电阻元的电流就可以控制每个电阻的温度,从而达到显示红外图像的目的。电阻阵列具有其他红外景像产生器所不具有的特点,低功耗、大温度范围、高分辨率、高占空比等,适合于各种红外目标的模拟。文另介绍了其基本原理、发展现状、关键技术及发展动态等,给出了一些器件的典型参数。 相似文献
17.
研究了采用氧化碱浸—中和沉淀—溶解还原工艺从碲铜渣中回收碲,考察了氧化碱浸过程中氢氧化钠质量浓度、氯酸钠质量浓度、浸出时间、液固体积质量比、温度对碲浸出率的影响。结果表明:在氢氧化钠质量浓度80 g/L、氯酸钠质量浓度60 g/L、浸出时间90 min、液固体积质量比5/1、温度80℃条件下,碲浸出率在85%以上;浸出液经中和沉淀、沉淀物溶解还原分别获得符合行业标准YS/T 1194—2017牌号TeO299.5的二氧化碲和YS/T 222—2010牌号Te99.99的精碲。 相似文献
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