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The amorphous/polycrystalline Si3N4/CrN nancrstructured multilayer films have been prepared by radio frequency (RF) reactive magnetron sputtering. The composition, microstructure and mechanical properties of these films were characterized by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), X-ray diffraction (XRD), high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM) and nano-indentation. The CrN and Si3N4 single layer films are polycrystalline face centered-cubic and amorphous structures, respectively. The CrN and Si3N4 layers are nearly stoichiometric. The HRTEM image indicates that the interfaces are planar and modulation structure is clear in multilayers. The hardness values of Si3N4/CrN multilayers are between those of the constituent CrN and Si3N4 films at a substrate temperature of 20℃, and are somewhat higher than those of Si3N4 films at a deposition temperature of 500℃. There is no superhardness effect in the Si3N4/CrN multilayers. Based on the experimental results, the hardening mechanisms in the multilayers have been discussed.  相似文献   
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醇类燃料发动机在用油的分析研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
  相似文献   
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钢结构承轨梁的设计与检测沈阳市劳动保护技术检测研究所王春华李香宁桥式起重机大多使用预制混凝土承轨梁,它具有承载能力大,抗弯性能好,成本低等优点。但体积和自重大,安装调试作业程序繁琐,工作效率低,周期长,工人劳动强度大。尤其是一些非标准的小型企业的厂房...  相似文献   
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