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13.
化学机械抛光是集成电路制造工艺中十分精密的技术。在本文中,为了改善抛光效果,分表讨论了非离子表面活性剂和氧化剂在CMP过程中作用。我们主要分析了非离子表面活性剂对片内非均匀性和表面粗糙度的影响。同时,我们从静态腐蚀速率、电化学曲线和剩余高低差的角度,讨论了在不加BTA条件下,不同氧化剂浓度的抛光液的钝化特性。实验结果明显地表明:加入了非离子表面活性剂的抛光液,更有利于改善抛光后的片内非均匀性和表面粗糙度,并确定2vol%体积分数是比较合适的浓度。当抛光液中氧化剂浓度超过3vol%,抛光液拥有较好的钝化能力,能够有效减小高低差,并有助于获得平整和光滑的表面。根据这些实验结果,非离子表面活性剂和氧化剂的作用进一步被了解,将有助于抛光液性能的改善。 相似文献
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随着经济的发展,科学技术呈现出较为蓬勃的发展趋势,重大机械装备对经济和社会发展作出了重要的贡献。其相关技术取得了重大的发展,但是在其发展的过程中,仍然存在一些问题影响了其使用寿命。其工作环境较为恶劣,运行时间较长,作业内容较为艰难,使得其随着时间的推移而出现老化磨损等状况,导致原本的使用寿命被缩短,造成安全隐患的存在。 相似文献
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王胜利 《中国新技术新产品》2013,(6):47-48
通过对钻孔灌注桩有关施工方案的介绍,能有效预防在施工过程中发生安全质量问题,其适用范围广,可以穿越各种土层,更可以嵌入基岩,对同类工程的施工具有十分重要的借鉴意义。 相似文献
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对于20世纪70年代的设备,在企业没有能力更新的情况下,利用库存条件,进行设备改造,降低损耗,保证生产。随着我国经济的发展,生产企业设备更新固然是好事,但是,合理有效地对老设备进行改造,也是行之有效的好办法。 相似文献
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加测陀螺定向边的井下导线平差方法探讨 总被引:1,自引:0,他引:1
分析两井定向与陀螺定向联合应用的必要性,推导两井定向与陀螺定向联合应用严密平差方法的条件方程式、法方程、求解公式及精度评定公式,并用实例验证这种方法的可行性及精度增益。 相似文献
19.
本文针对"1.2 MeV/10 mA高频高压型电子加速器及束线"项目中钨丝阴极热发射电子枪的控制需求,在了解了系统组成和工作原理的基础上,采用三极式平板热阴极发射电子枪,阴极材料使用钨丝,灯丝加热电源由发电机供电,引出电压从加速管电极分压获得。通过设计一种基于可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller,PLC)的控制系统,实现了电子枪引出1μA~50 mA 4个数量级范围的直流电子束。该控制系统采用PLC作为设备控制器,LabVIEW软件作为用户界面,通过通信协议(Object Linking and Embedding for Process Control,OPC)接口实现控制软件与设备控制器的通讯。实验测试表明,系统具有可靠稳定、灵活高效等特点。 相似文献
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