激光珩磨技术对发动机性能的影响

论述激光珩磨加工的原理和工作步骤,并与传统珩磨进行对比分析。结果表明:激光珩磨在发动机润滑油消耗试验、机油颗粒排放试验和磨损量试验上都具有较大优势,为珩磨技术的改进和发展提供了理论依据。     

高精拧紧工具在发动机装配过程中的应用

介绍了发动机螺栓拧紧的基本原理,针对发动机装配中的螺栓拧紧问题,应用高精拧紧工具的扭矩曲线图,对分析计算后的拧紧参数进行优化,通过数据反馈完善验证,为螺栓拧紧方面的问题处理提供了依据。     

与CMOS兼容的MEMS气压传感器工艺实现与性能分析

采用CMOS标准工艺,同时采用三种典型MEMS后处理关键工艺,重点通过对牺牲层释放工艺进行研究,制作实现了一种新型CMOS兼容的电容式气压传感器．在该传感器结构中,作为牺牲层的是在CMOS工艺中形成的掺硼氧化硅．通过释放使电容上电极悬空从而感应气压变化．释放过程采用氢氟酸HF、氯化铵、甘油和水的混合溶液．由于释放孔大小和释放孔间距的设计十分关键,通过实验验证优化了4μm×4μm的释放孔更适用于此传感器结构,并对此结构进行了性能分析与实验测试．结果表明,该气压传感器结构合理,工艺成功,重点解决了MEMS后处理中的牺牲层释放工艺与CMOS标准工艺的兼容问题,为利用CMOS标准工艺进行MEMS传感器的研制做出了有益的尝试．     

两端固支梁吸合电压解析模型的拟合修正

常用的工具软件如Coventorware和Ansys等计算吸合电压所需时间太长 ,计算一个吸合电压大约需要数小时。本文通过采用二维分布模型计算吸合电压 ,大幅度缩短计算吸合电压所需的时间 ,可在较短时间内完成大量不同尺寸及材料参数两端固支梁吸合电压的计算。用算得的吸合电压 ,采用最小二乘法 ,对两端固支梁吸合电压的解析模型进行拟合修正 ,提高了解析模型的精度     

一种能满足MEMS微梁固支边界条件的锚

在MEMS领域,微梁广泛应用于各种器件及材料参数的提取中,但是由表面微加工工艺制成的单层台阶型锚,往往不能使微梁满足理想固支的边界条件,从而给器件设计和材料参数的提取带来较大的误差.为了解决这一问题,文中提出了一种结构新颖的锚,经Coventorwear软件模拟表明,该锚能提供接近理想固支的边界条件.     

基于黑磷烯/氧化石墨烯双介质层的柔性电容式压力传感器

设计并制备了由黑磷烯/氧化石墨烯双层材料为介质层的电容式柔性压力传感器,该传感器结构以ITO为电容上下极板,PET为柔性基底,并对该传感器进行了系统的性能测试与分析。着重研究了该传感器在不同压力量程内的灵敏度,进而分析了其温度漂移特性。测试结果表明,以黑磷烯/氧化石墨烯薄膜为双介质层的电容式柔性压力传感器在0～3.12 kPa压力量程内灵敏度可达到1.60 kPa^-1。同时,对该传感器和以氧化石墨烯薄膜为单介质层的传感器进行了弯曲应变性能的对照实验,可知具有双介质层的传感器结构能够显著提高传感器的输出特性。     

普通机床的数控化研究

目前,我国制造业中还存在着大量的普通机床。由于其加工出来的产品大多存在质量较差、供货周期长的缺点,普通机床已经逐步被市场所淘汰。因此,对如此大量的普通机床进行低成本、短周期的机电一体化改造非常适合我国国情。普通机床的数控化改造有着深远的意义。     

CMOS电容式湿度传感器特性研究

提出了一种CMOS电容式湿度传感器特性研究方案.研究所用的微电容湿度传感器由标准CMOS工艺结合MEMS 后处理技术加工而成.为了测试湿度传感器的响应时间,设计了一种响应时间测试装置.测试结果表明,该电容式湿度传感 器在相对湿度25％～95％的范围内具有较好的线性度;其回滞在75％RH时达到最大,为2％ RH;该传感器...