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针对光刻过程非线性、时变和产品质量不易在线测量的特性,提出了一种基于最小二乘支持向量机预测模型和微粒群滚动优化方法的批次控制预测控制器。通过历史批次样本数据构建光刻过程的最小二乘支持向量机预测模型,解决了复杂光刻过程难以建立精确数学模型的难题,提高了预测模型的精度。通过预测误差的反馈校正和微粒群滚动优化算法求解最优控制律,提高了控制精度。性能分析结果表明,与指数加权移动平均方法及非线性模型预测控制方法相比较,批次控制预测控制器控制器减小了不同批次关键尺寸输出的差异,显著降低了关键尺寸输出的均方根误差,有效抑制了过程扰动影响。 相似文献
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针对化学机械研磨(CMP)过程非线性、时变和不易在线测量的特性,提出了基于径向基函数(RBF)神经网络和微粒群(PSO)算法的CMP过程run-to-run(R2R)预测控制器NNPR2R。首先通过样本数据用减聚类算法和最小二乘法构建CMP过程的RBF神经网络预测模型,解决了复杂CMP过程难以建立精确数学模型的难题和提高了预测模型的精度。然后通过PSO算法滚动优化求取控制律,解决了基于导数的优化技术易于陷入局部最优的问题并提高了控制精度。仿真结果表明,CMP过程NNPR2R控制器的性能优于常规的EWMA方法,有效抑制了过程漂移和减小了不同批次间产品的差异,显著降低了材料去除率(MRR)的均方根误差。 相似文献
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基于铭牌信息的异步电机等效电路参数辨识方法 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种新的基于铭牌的异步电机等效电路参数辨识方法.通过引入杂散损耗等效电阻,建立了包含杂散损耗的电机等效电路;在用等效电路计算电机参数的基础上,结合电机的铭牌参数建立了电机等效电路参数辨识优化模型.实验中,采用粒子群优化(PSO)算法对模型求解,并确定了有效的寻优范围;实验结果表明本文所提出的方法有效地辨识出了电机等效电路参数. 相似文献
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针对因集束型装备配置非常灵活,运行模式多样造成的对装备性能分析困难的问题,提出一种用随机Petri网对集束型装备的运行过程进行建模,分析模型,计算装备性能的方法.利用工具Visual Object Net++验证模型的可达性,活性,有界性.采用马尔可夫过程方法分析模型和计算性能.结果表明:该模型不仅可表现集束型装备的并发性,而且能表示出装备运转活动持续的随机的时间特性.与赋时Petri网模型相比,该方法更能反映装备实际加工过程. 相似文献
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针对一类存在并行和可重入腔的复杂单臂机器人集束型装备的调度问题,通过对加工腔、机器人、并
行和可重入腔中的各个机器人活动进行分析,推导出对应的时序约束关系,建立了问题的混合整数规划模型,从而
获得最优的机器人动作序列和最小周期.调度实例表明了模型的可行性和高效性. 相似文献
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小波变换在设备故障信号处理中得到广泛地应用,然而,小波变换只能消除白色噪声,对有色噪声不起作用.线调频小波变换统一了短时Fourier变换和小波变换的时频分析,是信号的时间-频率-尺度变换,能根据信号的特点自适应生成新的时频窗口.它不仅具有小波变换良好的时频局部性特点,而且它的时频窗口比小波变换的时频窗口更加灵活.本文应用线调频小波变换对旋转机械故障信号进行消噪,效果明显. 相似文献
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针对化学机械研磨(CMP)过程非线性、时变和产品质量不易在线测量的特性,提出了一种基于T-S模糊模型的CMP过程智能run-to-run(R2R)预测控制器FIPR2R;通过G-K聚类算法和最小二乘法对CMP过程的T-S模糊预测模型离线辨识,解决了复杂CMP过程难以建立精确数学模型的难题和提高了模型预测精度;通过双指数加权移动平均(dEWMA)中对过程扰动及漂移进行估计的方法实现反馈校正和基于克隆选择算法的滚动优化求取最优控制律,提高了控制精度;性能分析结果表明,FIPR2R控制器的控制性能优于dEWMA方法,有效抑制了过程扰动和漂移的影响。 相似文献
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胡静涛 《中国新技术新产品》2011,(15):208-208
由于我国新的会计准则体系实行的是准则导向机制,对于习惯制度导向的会计人员来说,无疑需要加大其会计职业判断力。本文旨在探讨会计人员如何在新准则下提升会计职业判断力的问题,借以推动新准则体系的有效实施。 相似文献