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在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的影响因素分析 总被引:1,自引:0,他引:1
对在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量弹性模量的主要影响因素进行了综合分析,主要包括加载系统悬置弹簧刚度、压头压入、梁沿截面宽度方向挠曲、梁支座附加挠曲等影响。在考虑这些因素的基础上,得到了悬臂梁的有效挠度,利用有效挠度与载荷之间的关系,评价悬臂梁材料的弹性模量。对单晶硅(100)悬臂梁试样进行了实验,得到其弹性模量为155GPa±9.5%GPa,与参考文献值符合较好。表明在纳米压入仪上进行悬臂梁法测量,只有综合这些影响因素后,才能获得有效、准确的弹性模量测量结果。 相似文献
3.
通过介绍激光扫描测量原理 ,说明准确地从光刀图像中提取光刀边缘位置是影响测量精度的关键因素 .由于噪声的存在 ,使用常见的边缘检测方法 ,在光刀图像中提取同一位置的光刀边缘 ,以及计算光刀中心位置 ,会带来很大的误差 .为了降低误差 ,本论文提出了基于 NURBS曲线拟合的亚像素光刀边缘提取方法 .通过实验 ,说明该方法重复提取的结果比较稳定 ,而且将误差控制在 0 .4个像素以下 ,从而使重复测量的高度误差在 0 .0 8mm以下 相似文献
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硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试 总被引:4,自引:0,他引:4
硅微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器。进一步研制小体积高精度的传感器,扩大其应用范围已势在必行。本工作主要从提高传感器的性能角度来分析掩膜版设计中的重要问题,并对设计制作的传感器进行静态测试,取得了满意的实验结果。 相似文献
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本文以显像管隔离器的偏转线圈为例,研究了复杂曲面的测量方法及型面设计,给出了设计方法及数学模型。由于所建的模型直观明了,很容易在计算机上实现,因而可在生产实际中普遍推广和应用。文中应用该数学模型编制了相应的计算机程序.对显像管隔离器偏转线圈80个截面进行了测量与数据处理,得出了描述型面曲线和型心的数学表达式,标准偏差和应用该方法的相关系数。经验证,能收到满意的结果.为在坐标测量机上研究复杂曲面的造型设计提供了行之有效的方法. 相似文献
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为了对线边缘粗糙度(LER)和线宽粗糙度(LWR)进行分析和表征,采用电子束光刻工艺和感应耦合等离子体刻蚀工艺制备了两种纳米尺度栅线结构,用扫描电子显微镜(SEM)对所制备结构进行了检测和定性分析.基于离线SEM图像分析法提取了纳米栅线结构的线边缘轮廓.将所提取的线边缘轮廓视为随机信号,分别采用均方根偏差σ、偏斜度Sk、峭度Ku、高高相关函数和功率谱密度函数表征了LER/LWR的幅度特征、形状特征和空间特征,研究了LER/LWR各参数从光刻图形到刻蚀图形的变化,实现了LER/LWR的定量分析和表征. 相似文献
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