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981.
982.
本文介绍了一台新型等离子体增强液态源MOCVD系统.系统由液态源汽化装置、反应室、等离子体产生装置、真空系统及自动控制系统等主要部分组成.该系统采用了由超声雾化器和加热腔组成的液态源汽化装置,将液态源转变成气态供给反应室沉积薄膜.为了提高金属有机物的化学反应活性,在有布气盒结构的反应室基础上,引入了射频等离子体.真空控制采用了由蝶阀、真空规和机械增压泵组成的闭环控制系统.自动控制系统的设计基于PLC和触摸屏,通过触摸屏完成工艺参数设置及实时数据显示,通过PLC完成系统控制.使用该液体输送MOCVD系统在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上沉积了锆钛酸铅铁电薄膜.实际应用证明,该系统结构紧凑,高度自动化以及控制灵活,适合于制备高质量的复合金属氧化物薄膜. 相似文献
984.
986.
为了研究催化材料由高温高压到真空环境的物化性能改变,设计了一种专用样品传递机构,主要包括加热室主体、高压装置、对接装置和液体冷却系统。设计过程综合运用Pro/ENGINEER、ANSYS软件分析加热室主体结构与温度场分布,解决了样品传递过程中样品预紧、加热加压、冷却隔热及温度分布控制等问题,实现了在特定条件下与其他机构的真空对接与样品传递功能。测试实验表明:该机构工作区域的径向温度呈分段函数分布,且在不同区间存在较大的函数变化率,确保了催化样品的实验环境。为该类机构的设计提供了一种参考。 相似文献
987.
988.
讨论了在物联网高速化、宽带化建设发展的情况下,采用超窄带技术进行低速物联接入专网建设的可行性,从技术、政策、市场和经济效益四个方面论证了建设专网的合理性和先进性,提出了物联网建设的新思路,为物联网发展提供了新手段。 相似文献
990.
流行风趋淡,个性化呈强。消费行为理智,购物追求实惠。时下,国内服装市场总体上供大于求,形成买方市场的格局。预计1998年~1999年全年社会消费品零售额分别为29300亿元、31800亿元左右,其中衣着类零售额可达2640亿和2930亿元,分别约占9%和9.2%;1998年城镇居民家庭人均收入将达5400元、5700元左右,衣着类消费支出约占11%,平稳增长;农村人均收入可达2100元、2600元左右,衣着类消费支出约占6%左右,是缓步提高态势。据有关资料显示,我国城镇后民消费支出在吃、穿、用所占支出比重比五年前分别下降64、1.7和0.8个百分点;消… 相似文献