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991.
MEMS THz滤波器的制作工艺 总被引:2,自引:0,他引:2
基于MEMS技术制作了太赫兹(THz)滤波器样品,研究了制作滤波器的工艺流程方案,其关键工艺技术包括硅深槽刻蚀技术、深槽结构的表面金属化技术、阳极键合和金-硅共晶键合技术。采用4μm的热氧化硅层作刻蚀掩膜,成功完成了800μm的深槽硅干法刻蚀;采用基片倾斜放置、多次离子束溅射和电镀加厚的方法完成了深槽结构的表面金属化,内部金属层厚度为3~5μm;用硅-玻璃阳极键合技术和金-硅共晶键合技术实现了三层结构、四面封闭的波导滤波器样品加工。测试结果表明,研制的滤波器样品中心频率138GHz,带宽15GHz,插损小于3dB。 相似文献
992.
993.
在脉冲耦合神经网络的基础上提出了竞争型脉冲耦合神经网络模型,分析了该模型用于求解网络最短路由时的脉冲波传播特性,并提出了脉冲波任务的产生、分解和状态转换理论,在模型中实现了脉冲波的多约束传播,成功地应用于网络多约束QoS路由问题的求解,并可得到全局最优解.仿真实验表明,与其他算法相比,该方法的计算迭代次数最少,且减少较多;而且迭代次数只与网络路由图中源点与目的点之间的最优QoS路由长度有关,而与节点数、链路数和网络的分布构成复杂性无关,体现出较好的计算性能和优势. 相似文献
994.
995.
996.
某化工厂由于蒸汽伴热管线发生泄漏,通过失效分析判断泄漏原因是绝热层下腐蚀导致的氯离子应力腐蚀开裂。由此对化工厂内的设备和管道进行了大范围检查,发现普遍存在绝热层下腐蚀的问题,对装置运行造成较大隐患。为避免造成进一步的泄漏风险,本文从绝热层安装和日常运行的维护保养提出相关建议。 相似文献
997.
本文通过调研分析国内心电图机市场分布和临床应用情况,探讨目前心电图机在应用中可能存在的问题和临床需求,为后续国家分层应用标准的制定,提供考量。通过采用调查问卷方式进行线上调研心电图机使用单位,调查问卷内容填写完整视为有效。根据实践应用中,心电图机使用中的易用实用性等,设计三类调查问卷:心电图机临床应用可靠性与耐用性问卷调查(13小题)、易用实用性问卷调查(10小题)及应用场景问卷调查(5小题),且调查问卷内容通过心电领域专家组论证后实施。结果显示,共调研了国内21个省市心电图机应用的194家医疗单位,其中团以上单位(50家,占比25.8%)、团级单位(73家,占比37.6%),团以下单位(70家,占比36.1%)和特殊环境(1家,占比0.5%)。心电图机68.6%应用于检查专科,其次为基层医疗单位,如干休所、门诊部等,最后,还用于急会诊心电图采集;使用超过5年以上的占50%以上。根据临床应用易用性和实用性回访结果,95分以上的占14.4%,90~95分占9.3%,80~90分占22.7%,70~80分占28.4%,70分以下占25.3%,排名前三的故障主要为:配件故障、打印功能障碍和屏... 相似文献
998.
通过对生物法处理挥发性有机物(VOCs)的类型、降解菌、影响因素等进行分析,综述了近几年生物法处理工艺的研究进展,并对未来生物法的研究方向进行展望,以期为生物法的工程应用提供理论基础. 相似文献
999.
为了保证范各庄矿7、8、9、12煤近距离煤层开采中上下煤及邻近工作面巷道支护稳定及优化采面布置,通过底板滑移线理论计算,得出上下层工作面巷道合理内错距离为2~3倍巷宽,12煤3125S面与上覆面间距较大,经受采动破坏较小,8煤2285S面和9煤3191S面受采动影响较大。UDEC模拟显示,7煤首采后形成显著的煤柱应力区,底层煤中峰值应力可达原岩应力的3~4倍,下层工作面巷道应内错避开布置,8煤至12煤开采可对上覆煤柱区大幅卸压,应力峰值为2~2.5倍原岩应力。临近工作面巷道采用6~12m煤柱,上下工作面巷道内错9.8~11.0m,实现了巷道和采面支护稳定,从而为近距离煤层工作面设计优化与衔接规划提供了关键依据。 相似文献
1000.