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纳米孔超级绝热材料气凝胶的制备与热学特性 总被引:22,自引:2,他引:22
以正硅酸四乙酯(TEOS)为硅源,通过溶胶–凝胶及超临界干燥过程制备了SiO2气凝胶. 同时,采用相对廉价的多聚硅(E–40)为硅源,以三甲基氯硅烷(TMCS)为表面修饰剂,硅油为干燥介质, 在常压条件下制备了同样具有纳米多孔结构的SiO2气凝胶. 用透射电镜、扫描电镜及孔径分布仪对其结构进行了表征,并用动态热线法对其热学特性进行了测试. 结果表明: 两种方法制备的气凝胶均是典型的纳米孔超级绝热材料,后者热导率略高但成本低许多,所以更具应用推广潜力. 相似文献
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激光印痕研究中的硅平面薄膜和刻蚀膜 总被引:1,自引:1,他引:0
研制了用于激光印痕研究的Si平面薄膜和刻蚀膜。膜制备的主要工艺采用氧化、扩散、光刻等现代半导体技术,并结合自截止腐蚀技术。Si平面膜厚度为3~4μm,表面粗糙度为几十nm。采用离子束刻蚀工艺,在Si膜表面引入25μm×25μm的网格图形或线宽为5μm的条状图形,获得了相应图形的Si刻蚀膜。探讨了扩散、氧化、腐蚀工艺对自支撑Si平面薄膜的表面粗糙度的影响,研究了离子束刻蚀参数对刻蚀图形形貌的影响。 相似文献
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亚临界干燥制备疏水SiO2气凝胶 总被引:12,自引:0,他引:12
以E-40(多聚硅氧烷)为硅源,三甲基氯硅烷的异丁醇溶液为干燥介质,用溶胶凝胶法,在亚临界条件下制备出疏水的SiO2气凝胶,通过SEM,孔径分布,比表面积,接触角以及红外光谱的测试对其物性进行了研究,结果表明,所制备的SiO2气凝胶具有典型的纳米网络结构,比表面大具具有疏水性能,亚临界干燥使得制备压力从6.4MPa降低到2.3MPa,降低了制备成本和风险,同时疏水性能提高了SiO2气凝胶环境适应性,从而十分有利于气凝胶的商业应用。 相似文献
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