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随着芯片制程中互连线尺寸的不断减小,集成电路技术已经从以晶体管为中心的时代发展到以互连为中心的时代.传统的互连金属——铝、铜,在互连线性能和可靠性方面渐渐无法满足人们的需求.钴在微纳尺度下因具有更好的电性能,有可能取代铜而成为新的互连线金属,现已受到广泛关注.首先对芯片金属互连技术的历史和发展进行了综述,分别介绍了铝互连、铜互连的优点、存在的缺陷与改进方法,并对新一代钴互连技术进行了介绍,同时对潜在的互连材料,如钌、金、纳米碳材料等进行了总结.之后论述了超填充铜和超填充钴的相关机理,如铜的扩散-吸附整平机理、曲率增强加速剂覆盖机制(CEAC)以及钴的氢诱导失活机制、电压性依赖抑制机制、S型负微分电阻机制(S-NDR)、差动电流效率填充机制等.最后对铜超填充和钴超填充过程中的形核和生长过程的研究现状进行了分析,对不同镀液体系、基底材料、电镀工艺等对铜和钴的形核和生长的影响进行了归纳总结,以期对未来钴互连的研究提供帮助. 相似文献
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103.
在化工、冶金、发电等大型机组连续生产企业中 ,为确保设备的安全运行 ,节约维修费用 ,对大型旋转机械设备运行状态的检测和故障诊断变得越来越迫切。由于旋转机械的许多运行故障反映在转子振动上 ,因此转子振动监测是旋转机械状态监测的重要手段。旋转机械振动监测的重要方式是采用仪表监测转子径向振动位移峰值。美国BentlyNevada公司的 330 0系列监测仪表是最具代表性的一种。本文就该系列监测仪表的原理、校验及安装方法做一介绍。1 系统构成及工作原理1 .1 系统构成轴振动仪表系统是由被测件机轴、探头、趋近器、信号模… 相似文献
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目的 目前心流理论主要应用在教育教学及计算机等方面,在产品交互设计领域的研究还处于探索阶段,有必要分析心流理论的交互设计适用性,提出基于心流理论的产品交互设计方法。方法 通过文献研究法、归纳法,梳理心流理论的国内外研究进展,分析心流交互体验的实际验证方法,从产品角度提出心流理论在交互设计中的应用方式,对心流理论在产品交互设计中的启发性原理进行总结。结论 心流是一种积极情绪的体验,在适当情境下能够提升用户体验。通过建立清晰的用户目标、维系挑战与技能的提升、给予有效的操作反馈三个主要方面,对基于心流理论的产品交互设计方法进行拓展,丰富产品交互设计与心流理论相结合的理论空间,为产品交互设计方法研究提供参考。 相似文献
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108.
BIOS安全防护技术研究 总被引:2,自引:0,他引:2
随着BIOS攻击事件的日益增多,计算机硬件系统的安全面临着新一轮的挑战,而对BIOS安全防护技术的研究能够掌握与之对抗的能力.通过对BIOS的攻击手段进行分析了解和对BIOS病毒的实现机理等相关技术进行深入剖析,提出了基于植入企图预测、文件指纹认证的模块检测以及基于BIOS指令执行检测的攻击技术对策. 相似文献
109.
在生物医学文本挖掘领域,化学药物命名实体识别具有重要意义.目前的主流方法是基于条件随机场(conditional random fields, CRF)的方法,但是该方法需要大量的人工特征,并且存在实体标签的全文非一致性问题.针对此问题,提出一种基于注意(Attention)机制的深度学习方法.该方法首先从海量生物文本中学习词向量,然后利用双向长短期记忆网络(BiLSTM)学习字符向量,随后将词向量和字符向量再经过另一个BiLSTM以获得词的上下文表示,然后再利用Attention机制获得词在全文范围下的上下文表示,最后利用CRF层得到整篇文章的标签序列.实验结果表明:相比之前的研究方法,提高了在同一篇文章中实体识别的一致性,并在BioCreative IV评测中的CHEMDNER数据集上取得了更好的结果(F值为90.77%). 相似文献
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介绍了一种盘式电机定子半自动嵌线机。首先,以现有的手工嵌线工艺流程为分析背景,完成了盘式电机定子嵌线机整体及相关结构的设计,并对其关键机构进行了详细介绍。其次,为了预测设备关键部件——转臂、模具柱的设计是否满足设计需要,以降低实验成本,借助ANSYS Workbench软件对转臂和模具柱进行了有限元分析,得到了关键部件的最大变形,验证了转臂和模具柱设计的可行性。最后搭建了实验样机,经验证实验样机基本可以实现绕线、嵌线工艺的半自动化,可提高盘式电机定子嵌线的效率,从而提高盘式电机的制造效率。 相似文献