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ZnO薄膜生长及声表面波性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用传统射频磁控溅射技术,通过引入Si O2缓冲层以及调节工作气压的方法,在Si衬底上制备具有高度(1120)择优取向的Zn O薄膜.采用X射线衍射技术和原子力显微镜分析Zn O薄膜的晶体特性和择优取向.研究发现,引入Si O2缓冲层能显著减小Zn O/Si O2/Si三层结构声表面波器件的温度延迟系数(temperature coefficient of delay,TCD),当Si O2缓冲层厚度为200 nm时,Zn O薄膜同时具有(0002)和(1120)择优取向,且TCD值仅为2×10-6℃-1左右,说明器件温度稳定性佳.当工作气压降低时,Zn O(1120)择优取向增强,相应的声表面波器件的机电耦合系数(K2)也增大.在大机电耦合系数和高温度稳定性的Zn O/Si O2/Si三层结构的基础上,有望制作出高性能的Love波声表面波生物传感器. 相似文献
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废聚苯乙烯制备聚氨酯防腐涂料 总被引:6,自引:2,他引:6
采用引发剂 (BPO) ,使废聚苯乙烯和顺丁烯二酸酐共聚接枝 ,解决了回收和利用废聚苯乙烯的课题。介绍其涂料的制备工艺、性能指标及其主要影响因素 相似文献
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随着我国经济水平的不断提高,桥梁工程建设越来越多,特别是大型和特大型的桥梁,因为其构造非常复杂,所以会有很多地方需要浇筑大体积的混凝土。但是,大体积混凝土的浇筑施工具有非常高的要求,包括对施工的条件、结构以及专业水平等等,所以,大体积混凝土的浇筑施工大大增加了桥梁工程施工的难度。 相似文献
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石化行业是广西经济发展重要的支柱产业,也是广西重点耗能行业之一,如何在"十三五"期间实现广西石化行业持续健康发展与有效节能减排,是当前必须正视的首要问题。本期专题刊发《试论"十三五"广西石化行业与节能减排的协调发展》一文。以期同各相关企业、专业人员及读者共同探讨石化行业在广西"十三五"期间的健康发展问题。 相似文献
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正西藏那曲市中心城区空间规划从城镇发展现状、高海拔环境的角度出发,以宏观尺度研究那曲中心城区空间的布局,构建系统、完善的新城空间体系,从不同的空间尺度发展方向、选址及空间管制进行研究,并细化转换为规划管理依据。本文将中心城区划分为禁建区、限建区、适建区及已建区,从而得到最终的区划方案。 相似文献
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从国家信息安全的角度考虑,通信网合法侦听技术的应用与发展势在必行。本文综合互联网资料,总结了合法侦听所面临的挑战及应实现的目标,并全面介绍了美国Verint公司的合法侦听综合方案。 相似文献