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以甲烷为先驱气体通过中频磁控溅射Ti80Si20靶材在硅和不锈钢基底上制备TiSi-C:H薄膜,研究了甲烷流量对薄膜沉积速率、结构、力学和摩擦学性能的影响。结果表明,甲烷流量对薄膜结构、力学和摩擦学性能有显著影响,随甲烷流量增加薄膜从包含约10 nm晶的锥状纳米晶/非晶复合结构向非晶结构转变,在低甲烷流量下沉积的薄膜具有高硬度、高应力和高磨损率;在高甲烷流量下薄膜硬度和应力降低,而摩擦学性能提高。薄膜力学和摩擦学性能的变化被认为是随甲烷流量增加薄膜结构演化的结果。 相似文献
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现代社会对电力系统和能源存储设备的能量密度、功率密度和工作寿命提出了更高的要求.为了满足这一需求,电池型负极和电容型正极组成的新型钠离子混合电容由于具有储备资源丰富和价格低廉的特点,引起了人们的广泛关注.值得一提的是,钠离子混合电容在电池和超级电容器这两种储能方式之间起到了关键的桥梁作用,使其在未来的大规模储能领域具有... 相似文献
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在新中国成立以后,党和政府对实现农业机械化、智能化工作给予了高度的重视,对我国农业的发展产生了深远影响。农业生产大丰收与积极推进实行的农业机械管理紧密相关,实行对农业机械的标准化管理,将有益于农业的增产,促进农业的发展。文章就新时期的农业机械管理和维修做出简要分析。 相似文献
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姬塬地区低电阻率油层定量解释方法研究 总被引:1,自引:0,他引:1
综合应用地质、测井、岩心分析及毛管压力实验等资料,结合姬塬地区长2段低阻油层特征,建立相关地层参数计算模型,用求得的含水率来进行低阻油层定量评价。经23口井实际生产数据的验证与对比,符合率较高,说明了该方法的可行性。 相似文献
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论述了MDBI查询预处理器的功能,并介绍了MDBI-SQL语言。按照查询预处理的处理过程,分别描述了 MDBI查询预处理器中词法分析、语法分析、语义分析的设计和实现。 相似文献
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通过中频非平衡磁控溅射Ti80Si20复合靶在氩气和甲烷混合气氛中沉积Ti-Si-C复合薄膜。采用X射线衍射仪、Raman光谱和X射线光电子能谱分析薄膜微结构。结果显示:制备的薄膜为非晶碳(a-C:Si:H)包裹约10 nm TiC晶粒的复合结构,氩离子溅射刻蚀对XPS分析结果有显著影响。随氩离子刻蚀溅射刻蚀时间增加,薄膜表面C、O原子含量明显降低,而Ti、Si原子含量增加。氩离子溅射刻蚀导致薄膜非晶碳相发生石墨化转变,即sp3C-C(H)/sp2C-C比率减小,同时,C-Ti*/C-Ti和C-(Ti+Ti*)/C-C强度比明显增加。 相似文献
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