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介绍了一种适用于三维堆叠的凸点式晶圆级封装的小型化C波段宽带薄膜体声波滤波器的设计方法,并进行了工艺验证。通过对压电层薄膜进行钪掺杂、材料参数提取、结构模型优化实现了相对带宽大于5%的薄膜体声波滤波器设计。通过表面硅基微机电系统(MEMS)工艺制备与凸点式晶圆级封装实现滤波器制备。研制出标称频率5 800 MHz、插入损耗小于2.8 dB、阻带抑制大于40 dBc、体积仅1.0 mm×1.0 mm×0.35 mm的C波段宽带薄膜体声波滤波器。 相似文献
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该文基于分层级联有限元(HCT-FEM)和三维电磁模型构建了一套声表面波(SAW)滤波器性能仿真系统。采用Matlab协同COMSOL建立的HCT-FEM模型计算声学元件导纳,用ANSYS建立的三维电磁模型计算含芯片走线、引线/金属球、封装外壳及测试电路的外部电磁S参数,并在ADS软件中对SAW滤波器频率响应进行复原。将该系统应用于一款芯片级封装(CSP)的普通SAW滤波器和一款表贴封装(SMD)的单晶薄膜SAW滤波器电性能仿真,仿真与实测结果吻合较好。 相似文献
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中国城市发展的自组织特征与判据——为什么说所有城市都是自组织的? 总被引:21,自引:0,他引:21
城市的发展是一种自组织过程,无论东方城市抑或西方城市概莫例外。自组织是城市演化背后的一只“看不见的手”。城市系统构成可以划分为三种成分:随机成分、可预测成分和受控成分,中央计划和城市规划主要是对控制成分而言。城市或者城市体系是否自组织系统,可以借助三个临界指标进行检测:一是时间尺度的1/f涨落,二是空间尺度的分形结构,三是等级尺度的济夫(Zipf)定律。计算表明,中国的城市化过程、城市体系的空间网络和位序-规模分布分别服从这三个定量判据。由此可以得出结论:中国的城市具有自组织系统的演化特征,这对我们今后的城市规划工作具有重要的指导意义。 相似文献
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