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141.
142.
微细EDM技术加工微齿轮的研究 总被引:8,自引:1,他引:7
本文通过用微细电火花(EDM)方法加工模数为0.06的微齿轮研究,阐述了微细EDM方法加工微齿轮的原理、方法和关键技术。 相似文献
143.
144.
145.
压电型微固体模态陀螺的模态及谐振分析 总被引:2,自引:1,他引:1
压电型微固体模态陀螺利用压电体的特殊振动模态来工作,它是一种不同于微振动陀螺的全固态微陀螺.在压电型微固体模态陀螺中不存在整体运动的部件和弹性支撑结构,因此抗冲击、抗震动能力强.同时,它对真空封装没有特殊的要求,因此稳定性好,长期工作可靠性高.文中详细介绍了压电型微固体模态陀螺的工作机理,建立了该种新型微陀螺的结构模型,并对压电块的振动模态和自激谐振进行了有限元分析,获得了满足要求的工作振动模态.通过谐振分析,进一步验证了提出的结构模型的有效性.本文为压电型微固体模态陀螺的制作提供了理论依据. 相似文献
146.
石英微机械陀螺的研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
首先介绍了石英微机械陀螺基于压电效应和科氏加速度的工作原理,回顾了石英微机械陀螺的发展历程,并且介绍了石英微机械陀螺的国内外发展现状。然后,针对石英微机械陀螺不同的结构进行了分类,并且对于不同结构的石英微机械陀螺的具体加工工艺、性能参数、应用领域等进行了综述。最后,对不同结构类型的石英微机械陀螺的尺寸、加工工艺,检测轴向,精度等参数进行了总结和对比,在此基础上分析了石英微机械陀螺的发展趋势,并指出了石英微机械陀螺研究中存在的问题,例如石英加工过程中产生的侧壁晶棱的不平整、石英侧壁电极的制作困难以及石英微机械陀螺多轴化应用的限制等。 相似文献
147.
Pyrex玻璃金属化凹坑的湿法腐蚀 总被引:2,自引:0,他引:2
为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H3O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验.实验发现在Cr/Pt/光刻胶掩膜下,Pyrex玻璃的腐蚀凹坑横向钻蚀小(钻深比1.34:1),侧壁倾斜光滑,并在凹坑(深约28μm)内成功地电镀了焊盘.该实验结果对要求高深宽比沟槽的微流体器件的制造也有一定参考意义. 相似文献
148.
149.
一个完整的数据加密系统应该具有安全可靠的密码认证机制和加密算法,为了解决现有大多数认证系统中逻辑认证的局限,利用两片FPGA芯片、PCI控制器、MEMS强链和AES算法设计了一种高效的数据加密系统,实现了物理认证和数据的加密/解密,利用AES-128加密算法对数据进行加解密,提高了安全等级.该系统具有简捷方便、性能稳定、数据吞吐率高等特点. 相似文献
150.
采用小波分析对获得的结构动力响应进行小波分解,根据各种响应信号对损伤的灵敏度选择损伤特征,从而识别结构多次出现损伤的时刻,实现对结构损伤时刻的监控;对结构第1层加速度响应信号做小波包分解,得到各频段能量的特征向量,作为特征参数输入到BP神经网络中实现结构多处损伤位置和程度识别。模拟算例表明,小波分析和BP神经网络联合运用能准确地诊断结构多处损伤的时刻、位置和程度,具有一定的可行性。 相似文献