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2000年 | 1篇 |
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针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构,得到数值孔径NA=0.1,放大倍率为-0.2558,分辨力达3.5μm,不受DMD栅格效应影响且达到衍射极限的缩微物镜。经过Zemax软件模拟得到其全视场光程差小于λ/5,145cycles/mm处的调制传递函数(MTF)大于0.58,充分说明该缩微物镜已经达到光刻物镜设计要求。利用Monte Carlo分析方法,模拟加工装配了100组镜头,设定空间频率为145cycles/mm时,90%的镜头FMTF>0.55,验证了加工装配实际可行。 相似文献
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针对实验室计算机模拟考试中出现的一次奇怪故障,逐一测试进行故障原因排查.最后查明,该次故障的产生是由于所使用的神州数码网易通2026交换机端口流量受限所致,而其根本原因在于,转发数据量较大时该型号交换机对大尺寸数据包进行了丢弃处理. 相似文献
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合成了一种联噻唑聚合物SPD及其Cu2+配合物。探索了温度和反应时间对SPD产率的影响。利用红外、元素分析、X射线能谱仪对其结构进行了表征。研究显示,在100℃温度下反应6h,产率达最大,为79.5%。热重分析表明聚合物具有较好的热稳定性。常温下测定SPD和SPD-Cu2+的电导率和磁滞回线,结果表明SPD配位Cu2+后电导率下降。SPD是一种反铁磁体;SPD-Cu2+是一种软铁磁体,矫顽力为5.25kA/m,剩余磁场强度为0.00105A·m2/kg,饱和磁化强度为0.029A·m2/kg。 相似文献
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79.
组件技术是一种优秀的基于组件的软件开发技术,文章概括地介绍了组件技术中的自动化技术并探讨了这种技术在现代工业模块化设计中的应用. 相似文献
80.
根据高职教育的规格和特色 ,对高职教学计划的制定课程设置及实际教学中的部分问题提出了若干探讨性的意见 相似文献