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基于超声扫描显微镜,在基本的反射扫描方式基础上开发出厚度测量扫描方式。作为实验室中的无损测厚工具,可以精确测量器件或器件中某材料层的厚度。 相似文献
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背照射波长延伸InGaAs面阵焦平面探测器 总被引:1,自引:0,他引:1
在MBE外延生长的In0.8Al0.2As/In0.8Ga0.2As材料上,采用台面成型方法制备了背照射32?32元InGaAs探测器,其中心距为30μm,并详细分析了探测器及其焦平面光电性能。结果表明,温度高于220K时吸收层材料热激活能为0.443eV,300K时在所考虑的偏压范围内,暗电流主要由扩散电流、产生复合电流及其欧姆漏电流构成。对组件焦平面特性也进行了研究,并通过读出电路的变积分电容测试结构测试结果提取出积分电容上的寄生电容,在测试温度范围内约为10fF左右。 相似文献
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分析对比了密封型和渗透型两种表面防护材料在不同环境中的性能,通过吸水率、结晶膨胀性能、抗碳化性能、氯离子电迁移系数、氯离子自然扩散性能和抗冻性能等指标进行评价。结果表明:吸附重腐蚀区宜选用密封型防护材料,对介质传输与化学腐蚀有良好阻隔作用,但不宜使用在冻融循环部分,该部分可以使用渗透结晶型防护材料;吸附普通腐蚀区宜选用硅烷类憎水密封型防护材料,对介质传输与化学腐蚀具有一定阻隔作用,控制每平方米涂覆量保障防护效果;无水位变化的区域宜选用渗透型无机表层强化材料,在较低成本下实现掺合料混凝土碳化的防护和养护的保障。 相似文献