等离子体腐蚀工艺实验

一、前言等离子体技术在半导体器件工艺中应用很广,它除了能作微细图形的腐蚀外,还可以进行抛光,清洗、镀膜等加工。我们用CF_4气体对硅和硅化合物进行了腐蚀实验,取得了一些结果。通常腐蚀工艺用的等离子体是在0.01——0.1托真空中,通入CF_4,CCl_4,SF_6等活性气体,在高频电场作用下活性气体辉光放电,形成非平衡低温等离子体。其特点是电离度低,气体温度低(1)。等离子体内的粒子之间的相互碰撞,激励分子的内部运动,如振动,转动,电子跃迁等,例如双原子的分子A_2和电子e的碰撞(2),对应于电子能量的大小,可以发生如下的反应     

1235铝合金冷轧板退火前后组织分析

试验以直接利用电解铝液生产的1235铝合金双零铝箔铸轧坯料,经一道次冷轧后的3.6mm厚的冷轧板为对象,利用金相显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)并辅以能谱仪(EDS),系统分析了冷轧板退火前后的显微组织、第二相形态、化学组成等情况。结果显示:冷轧板退火前的轧面组织多为细小的等轴晶,纵截面呈纤维状结构,且纤维组织的形态沿中心呈近似对称分布;合金中针片状的二元相为Al-Fe相,明亮的圆盘状和细小弥散的第二相为轧制过程中被破碎的α-AlFeSi相,棒状相则为三元的β-AlFeSi相。退火后的组织为完全再结晶组织,第二相尺寸和数量在退火前后有一定程度的变化。     

建筑施工技术中化学灌浆法的有关分析

本文对常用的化学灌浆材料进行了分析,指出其优缺点和使用环境,探讨了化学灌浆工艺在建筑施工技术中的应用。     

1Cr18Ni9Ti薄壁不锈钢管断裂失效分析

对1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢焊接接头进行SEM、显微组织观察分析和晶间腐蚀倾向分析,研究焊接工艺对奥氏体不锈钢的影响及其发生腐蚀的原因.试验结果表明:断口为脆性断口,主要由"氢脆"和 "疲劳"引起;焊接过程中1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢由于经受高温,在晶界组织中形成了贫铬区,使得焊接接头的耐蚀性大大下降,产生晶间腐蚀.     

非金属夹杂物影响下SCM-420钢的失效行为

为了研究非金属夹杂物对钢内部显微组织形态的影响,利用金相显微镜、扫描电子显微镜、显微硬度计和扫描电镜EDS能谱仪对SCM-420机械结构用钢内部的夹杂物形貌、基体微观组织、失效断口进行了观察分析.研究结果表明：夹杂物主要为点状的氧化物-硅酸盐混合型、块状的氧化物型和条状的硅酸盐型;夹杂物的周围存在脱碳层,其显微组织为单相的铁素体;夹杂物与基体生成了类共晶组织;微裂纹以夹杂物和脱碳层为通道,导致SCM-420机械结构用钢的脆性断裂.     

MAX7000S在步进电机微机控制系统中的应用

文章介绍了Altera公司的MAX70 0 0S可编程逻辑器件及其开发工具 ,并给出了它在步进电机微机控制接口卡中的应用实例。     

不断创新进取的尊宝

在又一个千年来临之际,人们自然而然地对历史上的重大事件作些比较。当代艺术被比作20世纪初的艺术     

英国宣布已实施先进的进攻性网络战能力 以确保英国的网络强国地位

意大利"securityaffairs"网站2020年10月13日消息,英国最高级的网络将军、战略司令部司令帕特里克·桑德斯宣布,英国已实施了先进的进攻性网络战能力,可以摧毁其敌人,"削弱、破坏和摧毁"对手的关键基础设施。英国首相鲍里斯·约翰逊责成桑德斯将军加强防御性和进攻性网络能力,以确保英国是"领先的全频谱网络强国"。