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为了解决现有硅刻蚀工艺中存在的刻蚀质量等问题,采用激光加工技术和电化学加工技术相结合的工艺对硅进行了刻蚀,研究了该复合工艺的工艺特性。实验中采用248nm-KrF准分子激光作光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极n-Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,研究了激光电化学刻蚀Si的刻蚀孔的基本形貌,并对横向刻蚀和背面冲击等质量问题进行了分析。结果表明,该工艺刻蚀的孔表面质量好、垂直度高;解决了碱液中Si各向异性刻蚀的自停止问题,具有加工大深宽比微结构的能力;也具有不需光刻显影就能进行图形加工的优越性。 相似文献
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最短路径算法是智能车辆路径规划问题的核心内容。从道路网络拓扑结构的自动构建以及Dijkstra算法中快速搜索技术的实现入手,综合考虑核心算法和数据存储结构两个方面,提出了直线优化Dijkstra算法。该算法能够有效降低时间复杂性,提高系统的效率。 相似文献
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有线电视网络由于电视传输是基本的业务,由过去的同轴电缆传输发展到光纤同轴混合网(HFC)传输。HFC网络对多业务传输具有许多优势,也存在一些困惑,如何正确认识优势和困难,以及与业务发展的相关方向的问题呢?以下笔者根据业务要求和营运成本为讨论的基本原则,分析了HFC网络的技术特点和适应性。 相似文献
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在分析传统调制解调级硬件抽象层(Modem Hardware Abstract Layer,MHAL)路由方法局限性的基础上,提出了一种多总线结构MHAL路由方法,并详细介绍了该方法的设计实现及验证。基于多总线结构MHAL路由方法在不违反软件通信结构规范的前提下,解决了传统方法不能解决的处理器间多总线路由、处理器多端口路由以及数据包路由转发问题。该技术已在某大型软件无线电系统中得到应用。 相似文献
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