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The effects of hydrogen dilution on the bonding characteristics, composition, and properties of SiN films deposited from a SiH4/NH3 mixture by r.f. plasma enhanced chemical vapor deposition were studied. The addition of relatively small amounts of hydrogen increased the Si/N ratio resulting in a corresponding increase in the Si---H/N---H bonding ratio. At higher hydrogen dilutions, the Si/N ratio decreased towards stoichiometric with significant changes in the hydrogen bonding characteristics. Changes in the physical properties are discussed in terms of the measured changes in bonding structure. Changes normally associated with changes in bulk film density were found to be well correlated to the Si---N bond density. The effects of substrate temperature and NH3/SiH4 ratio on films deposited under conditions of high hydrogen dilution were similar to those widely reported in the literature for plasma-enhanced chemical vapor deposition films deposited without hydrogen. Films deposited by remote plasma using hydrogen as the excitation exhibited high Si---N bond densities and low hydrogen. Experiments are planned to clarify the mechanism responsible for the observed changes in film properties. 相似文献
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济钢350m^3高炉高富氧生产技术 总被引:1,自引:1,他引:0
分析了济钢350m^3高炉高富氧对产量,理论燃烧温度,炉况顺行状况,焦比和生产效益的影响,高富氧可提高产量,但升高焦比和高炉理论燃烧温度,一定程度上影响高炉顺行,存在富氧效益最大化的适宜富氧率.高炉生产应低富氧高喷煤,根据钢目前的情况,富氧率经2%-3%为宜. 相似文献
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平衡纵剖面数值试验及其对防洪的影响研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文采用一维非恒定流非均匀沙的水沙数学模型,以长江中游螺山汉口河段为背景,进行了根化数值模拟试验,分析了该概化河段平衡纵剖面的变化规律及其与上游来水来沙条件的关系,并和相应的理论公式进行了比较。在此基础上,对水沙条件发生较在变化时的平衡纵比降以及带来的对长江中下游防洪的影响进行了分析。 相似文献
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混合结构楼房爆破拆除倒塌范围的确定 总被引:2,自引:1,他引:1
通过对混合结构楼房爆破倾倒过程特点的分析,提出了楼房在倾倒过程中的运动计算模型,并应用体积平衡原理,得到这类楼房爆破爆堆参数计算公式,用该公式计算的结果与实例中爆堆实测数据相比较,相对误差不超过11%. 相似文献
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超塑20钢的空洞与断裂行为 总被引:1,自引:0,他引:1
本文在获取20钢超塑性的基础上,对其空洞与断裂行为进行了研究,通过观察空洞的产生和测定空洞的长大,提出了一种超塑材料空洞的形核模型。研究确认,超塑20钢的断裂由沿晶和穿晶两种断裂类型组成。 相似文献
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