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981.
982.
Mo/Al/Mo结构金属作为TFT的电极,刻蚀后的坡度角和关键尺寸差是重要的参数。明确影响坡度角和关键尺寸差的工艺参数,进而控制坡度角和关键尺寸差,这对工艺制程至关重要。本文探究了膜层结构、曝光工艺、刻蚀工艺对坡度角和关键尺寸差的影响,并对刻蚀工艺进行正交试验设计。实验结果表明:Al膜厚每减小60nm,坡度角下降约9°,关键尺寸差增加0.1μm。曝光工艺中,显影后烘烤会增加光阻粘附力,导致关键尺寸差减小0.1μm,同时坡度角增加约9°。刻蚀工艺中,过刻量每增加10%,坡度角下降3.3°,关键尺寸差增加0.14μm;正交试验结果表明,对关键尺寸差、刻蚀均一性、坡度角影响因素的重要性顺序是:液刀流量Air Plasma电压水刀流量。经上述探究表明,坡度角和关键尺寸差呈负相关关系,刻蚀程度增加,关键尺寸差增加,而坡度角则减小。可以通过调节工艺参数对坡度角和关键尺寸差进行控制。 相似文献
983.
为了Camera Link摄像机的小型化和集成化,设计并实现了基于FPGA的Camera Link接口的编码输出功能。输出编码分为3个步骤:首先,完成图像像素数据到Camera Link PORT的映射;其次,根据DS90CR287的数据编码要求对PORT数据和同步时钟信号进行编码;最后,通过FIFO和并串转换功能模块完成图像数据和时钟编码信号的LVDS信号输出。使用ModelSim软件,对像素时钟为40 MHz的BASE模式进行了仿真,同时在实物实验中,完成了像素时钟为40 MHz的FULL模式的实验,通过以上两方面实验验证了设计的Camera Link输出编码方案的正确性和可行性。提出的编码方案稳定可靠,可以应用于不同模式下的Camera Link编码输出,具有很高的灵活性和应用价值。 相似文献
984.
基于器件工作机理,提出了一种新型的4H-SiC MESFET经验大信号电容模型。模型参数提取采用Lev-enberg-Marquardt优化算法,提取的模型主要参数具有一定物理意义。C-V特性的模型模拟结果与实验数据的比较表明两者符合良好。该模型还与CAD工具的通用电容模型进行了比较,结果表明新模型具有更高的精度。 相似文献
985.
电子元件的参数变化是影响微石英音叉陀螺精度的重要原因之一,该文论述了模拟开关参数变化对陀螺精度的影响,提出了一种新的相敏解调法及相敏解调电路,进行了与常规方法的对比试验,列举了两种方法的陀螺的零位偏置变化、零位稳定性、标度因数温度灵敏度及非线性度等指标的测量数据。试验结果表明,采用新方法的陀螺性能优于常规方法,可消除模拟开关参数变化对陀螺精度的影响。 相似文献
986.
987.
本文提出了一种采用双向联想记忆神经元网络诊断法诊断子网络级故障的新方法。在对含不可及节点的子网络级故障诊断的互测试条件检验的基础上,用神经元网络诊断法代替逻辑分析来快速而有效地定位故障子网络,并给出了诊断实例。 相似文献
988.
989.
提出了动态邻接封闭区间连接方法以及基于球面特征的检索方法。依据模型封闭区间的位置关系以及所占比重对原模型的多个封闭区间进行连接,将原模型合并成一个封闭区间,计算模型各点的m值,即测地线距离函数值,分裂区间,聚合成骨架点,去除冗余点得到连通的骨架;以m值最小的骨架点为球心,在骨架上建立 N个球面,提取球面相交的特征用于检索。实验结果表明,本文算法能有效提取多封闭区间三维模型骨架,提高三维模型的查准率。 相似文献
990.
毫米波传感器可以克服云、雾、尘埃和夜间观察等条件的限制,并且具有分辨率和分辨精度高等一系列特点,因此毫米波技术的研究方兴未艾。MATLAB语言具有友好的用户操作界面和方便的绘图功能,在工程中得到了广泛的应用。介绍了毫米波的特点,并在MATLAB 6.5环境下对毫米波最大作用距离进行了研究与仿真。 相似文献