Electrochemical characteristic of chemical-mechanical polishing of copper with oxide passive film

1　INTRODUCTIONThankstoitslowresistivityandhighelectromi grationresistance ,copperappearstobeaverypromisingsubstituteforaluminumininterconnec tions[1] .However ,copperisverydifficulttopattern ,andonlychemical mechanicalpolishing (CMP)tech nologycanresolvethisproblem[2 ] .CMPwasinitiallyinvestigatedandopenedoutfrom 1980soverseas[3] ,anditisthebestandonlyglobalplanarizationtech nologyatpresent ,butkeepsholdofbusinesssecretsallthetime .Fayolleetal[2 ] researchedCMPprocessofcopperwhereFe(…     

低合金钢锤头的研制与应用

为提高石料破碎机锤头的使用寿命,经过多次试验摸索和现场工业性试验,成功研制出价廉物美的低合金钢锤头。结合锤头含碳量较低、合金元素少的特点,对其进行阶段式复合热处理。热处理后锤头头部工作表面硬度50~55HRC,柄部硬度33~42HRC,使用寿命为锻打钢锤头的3~4倍。     

机床液压系统故障树分析

应用故障树分析法对某厂一台机床液压系统的典型故障进行了故障树分析，取得了满意的结果。实践证明，将故障树分析法应用于机床液压系统故障诊断中是非常有效的。     

快淬非晶合金制备态磁各向异性研究SCIEI

本文详细研究了铁基、铁镍基和钴基非晶合金条带制备态的平面磁各问异性。测定了退火前后试样中各向异性的变化及各向异性常数K_(us)随温度的变化,得出K_(us)(T)∝M_s^2(T)关系,由此得出平面磁各向异性由应力各向异性和表面形状各向异性两部分组成。     

基于并行工程和网络计划技术的模具生产进度编制方法

在充分考虑模具生产的特点和生产活动之间并行性的基础上,建立了单副模具典型生产过程的细化网络图,提出了一种基于并行工程、网络计划技术和最优化生产技术(OPT,Optimal ProductionTechnology)的模具生产进度计划编制方法。通过算例及其结果分析,表明了方法的可行性和有效性。     

机床故障诊断系统知识表示的研究

针对所研究的机床故障诊断专家系统，以故障树分析法为基础，采用面向对象的事件知识表示方法。并以面向对象编程技术给出了知识表示的示例。分析了这种知识表示方法的特点。实践证明，这种知识表示方法在故障诊断专家系统中是确实有效的，而且这种表示方法融合了多种传统知识表示方法的长处，是一种值得研究与应用的方法。     

碳纳米管及稀土元素钇(Y)对高Ni含量Ti(C,N)基金属陶瓷组织与性能的影响

研究了不同含量的碳纳米管及0.8%稀土Y对高Ni含量Ti(C,N)基金属陶瓷组织性能的影响.将不同成分的试样分别于1400℃、1410 ℃、1420℃真空烧结,测试抗弯强度、洛氏硬度,观察背散射电子形貌、断口形貌并做能谱分析.结果表明,加入质量分数(下同)为0.8%Y及0.3%～1.0%的碳纳米管时,碳纳米管含量为0.5%的组织较均匀,芯壳结构明显,抗弯强度及硬度均较高.     

工艺参数对电磁铸造铝板坯温度场的影响

采用数值方法模拟电磁铸造过程的温度场，详细讨论了各种工艺参数，如宽厚比，浇注温度，铸造速度，冷却水量，喷水位置，喷水孔分布，感应热等对铝板坯凝固过程和温度场分布的影响规律，为电磁铸造工艺参数设计提供可靠依据。