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体积小、频响宽、造价低的微机械三维加速度传感器能够适应一些领域三维加速度测试的需要,并已开展了广泛的研究.本文综合国内外研究情况,介绍了几种微机械三维加速度传感器的结构,包括单质量块-弹性梁结构、双质量块六梁结构、四质量块结构、梳齿式结构,并对每种结构传感器的工作原理进行了分析. 相似文献
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人体蓄热与热适应能力对热舒适性的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
将稳态环境和动态环境下人体与环境热交换进行了对比分析,探讨了人体蓄热与热适应能力对热舒适性的影响,得出人体蓄热是影响动态热环境下人体舒适感的重要因素,提出模拟自然状态气候变化的动态调节是空调发展的方向. 相似文献
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冷冻水大温差可以节约冷冻水泵的能耗,但也使末端装置--风机盘管的性能下降.本文利用风机盘管性能数学模型,定量地分析了冷冻水大温差对风机盘管的冷量和去湿能力的影响,并提出利用冷冻水大温差以达到节能目的的可行性. 相似文献
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用电子束蒸发氧化铪靶的方法.在SOI(绝缘体上硅)材料上制备了氧化铪薄膜,随后在氮气中进行快速退火(600℃.300s)。借助掠角X射线衍射(GAXRD)、X射线光电子能谱(XPS)、高分辨透射电镜(HRTEM)技术分析了样品的微观结构.研究了样品在退火前后发生的组成及结构变化.结果表明退火后氧化铪薄膜由退火前的非晶态转变为单斜结构的多晶态,薄膜中的O/Hf原子比较退火前更接近化学计量比2。借助扩展电阻探针(SRP)技术考察了退火前后薄膜的电学性能.证明在SOI材料上制备的多晶氧化铪薄膜同样具有较好的电介质绝缘性能。 相似文献
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