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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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空调系统应用于普通房间可能引起空调病 ,应用于医院时此问题将更为突出 ,本文对此类建筑在空调系统设计中应重视的有关问题进行了初步探讨 相似文献
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映秀湾水力发电总厂计算机监控系统建设较早,因受当时计算机应用技术限制,使得目前运行的计算机监控系统存在很多不足之处,为此,提出对该系统进行改造的设想,旨在能进一步满足映电总厂“无人值班”(少人值守)和安全经济运行的需要。 相似文献
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铝电解槽磁流体稳定性有限元分析 总被引:2,自引:0,他引:2
本文采用有限元法求解分层磁流体小扰动方程系统特征值,研究铝电解槽稳定性。研究结果表明,在没有电磁力时,铝液表面波动(内波)是稳定的。存在电磁力时,它会激发铝液表面波动的某些低频长波分量不稳定性,高频短波不受影响。被激发的不稳定波动频率和扰动增长率与电流密度,磁感应强度垂直分量,铝电解槽长宽比,电解质和铝液的密度差,厚度等因素密切相关。减少电流密度,磁感应强度,增加电极距离和铝液厚度可以提高铝电解槽的稳定性。这对铝电解槽优化设计和在线控制有重要意义。 相似文献
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High speedsteel (HSS) ,ischaracterizedbyex cellenthardness ,wearresistance ,and goodredhardness .Recently ,HSSisappliedtomanufacturehotrollingrollstoproducestripsofgoodshapeandsmallcrownwithextendedrollservicelife[1,2 ] .TheHSSisappliedtomanufacturerollcollarfor… 相似文献