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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
182.
信号时域积分性质的一个推广应用 总被引:1,自引:0,他引:1
对信号进行运算(卷积运算,傅氏变换,拉纸变换)时,应用时域积分性质,得出由函数导数的运算式求取原函数的相应运算结果的一般性计算公式,使时域积分性质的应用得到推广。 相似文献
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用于安全稳定控制的高压直流极闭锁判据 总被引:1,自引:0,他引:1
交直流并联运行电网中直流极闭锁后引起的安全稳定问题十分突出,如何正确判别直流极闭锁是安全稳定控制系统研究中的重要课题。采用数值仿真方法分析了直流极闭锁对电力系统稳定的影响,指出稳定控制装置必须正确、快速地判出不同形式的直流极闭锁。通过研究直流极闭锁的电气量特征以及直流控制保护系统的动作行为,提出了可靠的直流极闭锁综合判据,并进行了详细的阐述。通过介绍中国南方交直流混联电网安全稳定控制系统核心部分———高肇直流输电安全稳定控制系统,进一步论述了研究直流极闭锁判据及直流极闭锁后稳定控制的重要性。 相似文献
190.