Electrochemical characteristic of chemical-mechanical polishing of copper with oxide passive film

1　INTRODUCTIONThankstoitslowresistivityandhighelectromi grationresistance ,copperappearstobeaverypromisingsubstituteforaluminumininterconnec tions[1] .However ,copperisverydifficulttopattern ,andonlychemical mechanicalpolishing (CMP)tech nologycanresolvethisproblem[2 ] .CMPwasinitiallyinvestigatedandopenedoutfrom 1980soverseas[3] ,anditisthebestandonlyglobalplanarizationtech nologyatpresent ,butkeepsholdofbusinesssecretsallthetime .Fayolleetal[2 ] researchedCMPprocessofcopperwhereFe(…     

氧化薄膜对锆-4合金表面性能的影响

为了研究氧化薄膜对Zr-4合金表面性能的影响,对样品分别进行了350℃和400℃各10 min,15 min,20 min和25 min氧化.结果发现,不同条件下氧化生成的样品表面呈现不同的颜色.小角掠射X射线衍射分析(GAXRD)表明,生成的氧化物为非化学计量的六方相氧化锆.样品在0.5 mol/L的H2SO4溶液中进行电化学试验发现,氧化后样品的耐电化学腐蚀性能有所提高.而用纳米压痕仪试验的结果表明,氧化后样品有较高的纳米硬度和较低的弹性模量,意味着氧化后样品可能有更好的耐磨性.400℃氧化样品对合金性能的提高优于350℃氧化样品.     

Effects of can parameters on canned—forging process of TiAl base alloy（Ⅱ）——Mechanical behavior

1　ＩＮＴＲＯＤＵＣＴＩＯＮＴｉＡｌａｌｌｏｙｈａｓｌｏｎｇｂｅｅｎｃｏｎｓｉｄｅｒｅｄａｓａｐｒｏｍｉｓ ｉｎｇｍａｔｅｒｉａｌｆｏｒｈｉｇｈｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ,ｄｕｅｔｏｉｔｓｅｘｃｅｌｌｅｎｔｈｉｇｈｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｐ     

红外测温技术在离心复合铸造轧辊生产上的应用

本文分析了离心复合铸造轧辊生产过程中离心机停机温度和时间对轧辊质量的影响 ,提出了用先进的红外测温技术来预报停机温度和时间 ,以实现微机监控适时停机 ,保证轧辊内外层熔合良好 ;同时指出了红外测温技术在离心复合铸造轧辊生产上的应用前景     

NaZr2(PO4)3晶体的水热合成与表征

用水热法在较低温度较短时间内制备了NaZr2(PO4)3晶体,对其合成机制进行了讨论,采用XRD,SEM,IR,TEM和BET等方法对制备的样品进行了表征.结果表明,所合成的NaZr2(PO4)3晶体具有良好的结晶度,尺寸分布在100nm～400nm之间,晶体平均孔隙直径为7.566nm.与沸腾回流法相比较表明,此水热法是更为有效的合成方法.     

LC9铝合金热扭转晶粒细化

ＬＣ９铝合金在７７３Ｋ热扭转中显微组织由粗大的柱状晶转变为细等轴晶。研究表明：其晶粒细化的过程为：位错的聚集；亚晶网络的形成；亚晶界面两侧晶体位向差的增加；亚晶界转变为晶界。从而细晶网络形成。     

大型钛合金压气机盘超塑性等温锻造模具结构及工艺参数实验研究

通过超塑拉伸和压缩试验，用金属铅进行模拟实验，探讨了大型ＴＣ１１合金压气机盘超塑性等温锻造的工艺参数，模具结构，锻坯形状尺寸及润滑剂的选择、并讨论了其模具材料及加热方式的选择。     

辐照损伤对锆合金电化学性能的影响

综述了堆内辐照对锆合金电化学性能影响的概况，浅析了堆内辐照损伤的机理，并重点探讨了主要的堆内辐照源——中子辐照对锆合金微观结构与氧化性能的影响。进一步阐述了堆外离子轰击模拟堆内中子辐照研究方法的进展概况，并就离子轰击实验参量的选择进行了较为深入的分析。     

环氧玻璃鳞片树脂防腐技术在阳离子交换器上的应用

本文介绍了环氧玻璃树脂鳞片技术在现场防腐中的应用，采用了新型冷法解决防腐问题，有助于彻底改变衬胶防腐衬里局部修补难度大的问题，是解决局部防腐的良好途径。     

纳米Fe2O3的制备与气敏性质的研究

报道了纳米氧化铁的制备工艺，采用沉淀法、溶胶凝胶法制备了纳米α-Fe2O3、γ-Fe2O3粉体，用热重－差热分析（TG－DTA）、X射线衍射（XRD）、透射电镜（TEM）和二次粒度分布对粒子进行表征，并制作了气体敏感元件。讨论了纳米氧化铁的制备工艺对气敏性质的影响。