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Rui Morimoto Chisato Yokomori Akiko Kikkawa Akira Izumi Hideki Matsumura 《Thin solid films》2003,430(1-2):230-235
In this paper, bulk-Si metal–oxide–semiconductor field effect transistors (MOSFETs) are fabricated using the catalytic chemical vapor deposition (Cat-CVD) method as an alternative technology to the conventional high-temperature thermal chemical vapor deposition. Particularly, formation of low-resistivity phosphorus (P)-doped poly-Si films is attempted by using Cat-CVD-deposited amorphous silicon (a-Si) films and successive rapid thermal annealing (RTA) of them. Even after RTA processes, neither peeling nor bubbling are observed, since hydrogen contents in Cat-CVD a-Si films can be as low as 1.1%. Both the crystallization and low resistivity of 0.004 Ω·cm are realized by RTA at 1000 °C for only 5 s. It is also revealed that Cat-CVD SiNx films prepared at 250 °C show excellent oxidation resistance, when the thickness of films is larger than approximately 10 nm for wet O2 oxidation at 1100 °C. It is found that the thickness required to stop oxygen penetration is equivalent to that for thermal CVD SiNx prepared at 750 °C. Finally, complementary MOSFETs (CMOSs) of single-crystalline Si were fabricated by using Cat-CVD poly-Si for gate electrodes and SiNx films for masks of local oxidation of silicon (LOCOS). At 3.3 V operation, less than 1.0 pA μm−1 of OFF leakage current and ON/OFF ratio of 107–108 are realized, i.e. the devices can operate similarly to conventional thermal CVD process. 相似文献
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Fuzzy estimation of feed-cutting force from current measurement-a case study on intelligent tool wear condition monitoring 总被引:1,自引:0,他引:1
Xiaoli Li Han-Xiong Li Xin-Ping Guan R. Du 《IEEE transactions on systems, man and cybernetics. Part C, Applications and reviews》2004,34(4):506-512
It is very important to use a reliable and inexpensive sensor to obtain useful information about manufacturing processing, such as cutting force for monitoring automated machining. In this paper, the feed-cutting force is estimated using inexpensive current sensors installed on the ac servomotor of a computerized numerical control (CNC) turning center, with the results applied to the intelligent tool wear monitoring system. The mathematical model is used to disclose the implicit dependency of feed-cutting force on feed-motor current and feed speed. Afterwards, a neuro-fuzzy network is used to identify the cutting force with current measurement only. This hybrid math-fuzzy approach will reduce the modeling uncertainty and measurement cost. Finally, the estimated cutting force is applied in the tool-wear monitoring process. Successful experiments demonstrate robustness and effectiveness of the suggested method in the wide range of tool-wear monitoring applications. 相似文献
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Rui A. S. Lapa José L. F. C. Lima 《Journal of Automated Methods and Management in Chemistry》1991,13(3):119-122
The construction of a microcomputer-controlled electrode switch for
use in potentiometric determinations is described. This can be coupled to most of the analytical equipment usually found in laboratories, to enable a setting up of automatic systems capable of performing sequential determinations with several ion-selective
electrodes. The assessment of its analytical usage and behaviour are discussed. 相似文献
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在分析了感应加热小半径弯管形变机理的基础上,提出了压缩弯曲的成型工艺,研制出了小半径中频弯管设备,并进行了大量的工艺实验和实验研究,取得了满意的结果。 相似文献
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本文从理想材料轴对称弹塑性问题的所有基本方程出发,研究了全塑性时轴对称空间问题的塑性应变分布规律和应力场,并推导了控制应力分布的定解方程,给出了全塑性轴对称问题的通用解法。 相似文献
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加入WTO以后,我国的电梯行业发展势如破竹。国内市场国际化开辟了中国电梯行业全面发展的新纪元国际市场国内化彻底打破了国际市场的贸易壁垒,中国电梯走出国门,寻找更大的发展空间,前景一片光明。 相似文献