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设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜.这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中,当电流信号通过驱动线圈时,MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动.采用MEMS体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能,实验获得的扫描镜静态转角斜率为0.03°/mA,当器件进行动态扫描时,在381Hz的谐振频率下获得了最大±10.2°的光学扭转角度,空气中的Q因子为221,相应的功耗为13μW,与此同时MEMS光学扫描镜具备了出色的镜面粗糙度、光学反射率和镜面平整度.实验证明该器件完全适合于微型光谱仪和可调光滤波器的应用. 相似文献
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A synchronous boost DC-DC converter with an adaptive dead time control (DTC) circuit and antiringing circuit is presented. The DTC circuit is used to provide adjustable dead time and zero inductor current detection for power transistors and therefore, a high efficiency is achieved by minimizing power losses, such as the shoot-through current loss, the body diode conduction loss, the charge-sharing loss and the reverse inductor current loss. Simultaneously, a novel anti-ringing circuit controlled by the switching sequence of power transistors is developed to suppress the ringing when the converter enters the discontinuous conduction mode (DCM) for low electromagnetic interference (EMI) and additional power savings. The proposed converter has been fabricated in a 0.6 #m CDMOS technology. Simulation and experimental results show that the power efficiency of the boost converter is above 81% under different load currents from 10 to 250 mA and a peak efficiency of 90% is achieved at about 100 mA. Moreover, the ringing is easily suppressed by the anti-ringing circuit and therefore the EMI noise is attenuated. 相似文献
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本文介绍了一种鱼类耳石样品的扫描电镜制样方法,通过对草鱼耳石进行包埋,抛磨,并用合适的腐蚀剂处理,用SEM成功地观察了耳石的日轮及超微结构,该方法简便易行,保证所观察耳石样品的微观结构完整与清晰。 相似文献
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为了降低油田采出水中聚丙烯酰胺浓度,提高采出水处理效果,对菌株H3降解聚丙烯酰胺的条件进行研究。利用单因素实验方法考察了接种量、菌株活化次数、油田采出水培养基初始p H值、金属离子(Zn2+、Mn2+、Fe2+、Cu2+)等对聚丙烯酰胺的影响。结果显示:优化的菌株H3降解聚丙烯酰胺的培养条件为接种量2%、菌株活化3次、培养基初始p H值7.5,此条件下聚丙烯酰胺降解率可达38.4%;优化条件下,添加金属离子对聚丙烯酰胺降解具有一定影响,单独添加Zn2+、Mn2+、Fe2+离子对聚丙烯酰胺降解均具有一定的促进作用,单独添加Cu2+离子对聚丙烯酰胺降解具有一定的抑制作用;同时添加Zn2+、Mn2+、Fe2+离子显示出一定的协同作用,聚丙烯酰胺的降解率明显高于单独添加,降解率可达63.86%。 相似文献
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半导体器件欧姆接触中的扩散阻挡层 总被引:6,自引:0,他引:6
为提高半导体器件欧姆接触的可靠性,一般要在金属化系统中加扩散阻挡层。本文介绍了扩散阻挡层的种类及其特性,并进行了比较和讨论。最后给出了在实际成功应用的例子。 相似文献