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31.
在CMP中,由于抛光垫在与其接触的晶圆边缘产生异常压力点,以及转台和承载器旋转的线速度之差在边缘处较其他点大得多,从而导致了晶圆边缘效应的产生。阐述了承载器在CMP中的作用,详细分析了边缘效应产生的原因和克服的方法。在承载器上采用与晶圆保持适当间隙的保持环结构,对保持环施加适当的压力,使保持环和晶圆位于同一抛光平面上;针对旋转式CMP设备固有的线速度之差导致片内非均匀性增大的问题,对200mm晶圆划分两区域进行微压力补偿,同时详细说明了压力补偿气路的设计和实现的功能,指出今后多区域微压力补偿将采用矩阵控制技术。  相似文献   
32.
Li  Xue  Nie  Lanshun  Si  Xiandong  Ding  Renjie  Zhan  Dechen 《Mobile Networks and Applications》2021,26(1):130-145

Sensor-based activity recognition (AR) depends on effective feature representation and classification. However, many recent studies focus on recognition methods, but largely ignore feature representation. Benefitting from the success of Convolutional Neural Networks (CNN) in feature extraction, we propose to improve the feature representation of activities. Specifically, we use a reversed CNN to generate the significant data based on the original features and combine the raw training data with significant data to obtain to enhanced training data. The proposed method can not only train better feature extractors but also help better understand the abstract features of sensor-based activity data. To demonstrate the effectiveness of our proposed method, we conduct comparative experiments with CNN Classifier and CNN-LSTM Classifier on five public datasets, namely the UCIHAR, UniMiB SHAR, OPPORTUNITY, WISDM, and PAMAP2. In addition, we evaluate our proposed method in comparison with traditional methods such as Decision Tree, Multi-layer Perceptron, Extremely randomized trees, Random Forest, and k-Nearest Neighbour on a specific dataset, WISDM. The results show our proposed method consistently outperforms the state-of-the-art methods.

  相似文献   
33.
针对炮弹装填时炮膛的磨损和底火与击针对正问题,介绍一种炮弹弹尾定心部全跳动误差值的自动检测技术。该检测装置主要由自动升降机构、传动机构、轴向定位机构、压紧机构和检测机构等组成。将自动检测装置直接固定在弹体输送线架体上,进行弹尾定心部全跳动误差值检测时,弹体不必下线,可直接在弹体输送线上的检测工位进行,弹体的托起、轴向及径向定位和压紧、旋转和检测等所有动作均自动完成,只有百分表上的跳动值检测结果由人工读取。生产实践结果表明:该技术能提高炮弹装配生产的安全和自动化程度,减轻操作人员的劳动强度,提高生产效率。  相似文献   
34.
提供了一种海上无线信道小尺度衰落特性的测试及分析方法,在复杂海况环境下,无线信道出现了长多径、正幅度副径、第二多径群等特殊多径情况。该测试结果为根据特殊的信道特性对系统参数和算法等进行优化提供了技术基础。  相似文献   
35.
HMX热分解动力学与热安全性研究   总被引:1,自引:6,他引:1  
利用差示扫描量热法( DSC),获得了单质炸药奥克托今(HMX)热分解的特征参数,利用热重法(TG)得到HMX热分解的起始分解温度、各阶段的失重量、最大失重速率及对应的温度、最终残渣量、反应深度、反应速率等参数.将DSC、TG数据与Malek法相结合对HMX的热安全性进行了研究.结果表明,HMX在加热过程中先出现晶型转...  相似文献   
36.
RFID/EPC技术是最有发展前途的信息技术之一,该文介绍了RFID/EPC以及EPC系统的概念,在此基础上浅析了RFID/EPC认证,并结合实际情况介绍了EPC技术在深圳的推广应用。  相似文献   
37.
稳定的简单结构被动调Q单脉冲单纵模激光器   总被引:3,自引:1,他引:3  
以激光二极管(LD)环形阵列侧面抽运Nd:YLF棒高增益放大器模块为基础,在经典的平凹驻波腔中加人一片Cr^4 :YAG晶体作为被动Q开关,利用被动Q开关本身所具有的振荡选模功能以及两端不镀膜的Nd:YLF棒所具有的标准具效应,简便地实现了稳定的单脉冲、单纵模调Q输出。振荡器输出脉冲平均宽度为9.3ns,脉冲宽度稳定性达到8%(RMS);输出脉冲平均能量为1.218mJ;单脉冲能量稳定度优于3%(RMS),对应峰值功率达到O.13MW。同时该振荡器长时间工作过程中单纵模输出几率始终优于99%,这种单纵模振荡器结构简单,性能稳定可靠,适合于实际应用以及产品化。  相似文献   
38.
数字调谐系统在组合音响上的应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文介绍了NEC公司大规模专用集成电路μPD1715G——016及其在组合音响上的应用,讨论了设计中的几点关键性问题,并分析了解决问题的方法和途径。  相似文献   
39.
在比较蜂窝制系统和大区制系统功率控制技术的区别的基础上,讨论了大区制码分多址(CDMA)移动通信中的功率控制算法,提出了采用开环控制与闭环控制配合的实现方案,并进行了相应控制算法的仿真。结合大区制系统的特点,分析了算法中相应参数的设置。该文对于大区制CDMA移动通信系统的设计具有参考价值  相似文献   
40.
本文通过西门子s7-400系列PLC在我公司60万吨醇氨联产项目原料煤储运控制系统中的应用,从PLC硬件和软件两方面,介绍了PLC控制系统硬件、软件的选型、设计和组态方面的内容。  相似文献   
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