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文章分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素,在此基础上,设计了一套由80C31单片机为核心的光电隔离电路和PC机组成的两级系统,用于GaN薄膜外延生长的工艺流程监控,并提出了一种合适的工艺流程监控策略。 相似文献
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83.
84.
在1034探针台中,驱动承片台在X-Y方向运动的平面电机功率放大部件是该设备的核心部件,其性能的好坏直接关系到探针台的性能。本文拟从简述平面电机的原理入手,对该功放部件的性能、测试方法和维修作一讨论。 相似文献
85.
86.
激光测量子弹速度研究 总被引:5,自引:1,他引:5
系统通过选取半导体激光器作为光源、大面积光敏二极管作为接收器件。采用通过柱面透镜和圆弧柱面反射镜形成的激光幕作为区截面。整个装置由两套相同的激光光幕构成,用以获取弹刃通过两个光幕的时间间隔。通过接口电路,根据靶距由计算机进行数据处理,得到弹丸的飞行速度。该系统具有效靶区大,灵敏度高,响应速度快,抗干扰能力强,测速范围广等特点。 相似文献
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90.
基于完全互补码的新型CDMA系统仿真研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用完全互补码的特性 ,分析研究了一种基于完全互补码的新型CDMA系统。这种CDMA系统可以精确估计多径影响 ,实现高速数据传输。且在理论分析的基础上进行了计算机仿真 ,研究了各参数对系统性能的影响特性 相似文献