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采用在阳极化反应时改变电流强度的办法 ,在高掺杂的 P型硅 (111)衬底上制备了具有不同多孔度的双层结构多孔硅层 .用超高真空电子束蒸发技术在多孔硅表面外延生长了一层高质量的单晶硅膜 .在室温下 ,该外延硅片同另一生长有热二氧化硅的硅片键合在一起 ,在随后的热处理过程中 ,键合对可在多孔硅处裂开 ,从而使外延的单晶硅膜转移到具有二氧化硅的衬底上以形成 SOI结构 .扫描电镜、剖面投射电镜、扩展电阻和霍尔测试表明 SOI样品具有较好的结构和电学性能 相似文献
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“机器人时代”是面向全校各年级各专业的通识教育类课程。课程坚持从技术、社会学、伦理学等多元角度帮助学生把握机器人工程科技的未来发展走向。在不断的打磨与完善过程中,该门课程在教学目标设计、教学模式改革、课程思政元素融入等方面已经逐步探索出一条从多元视角开展通识教育课程建设的成功路径。 相似文献
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