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目的 获得一种可改善单晶SiC晶圆化学机械抛光(CMP)效率的复合增效技术,实现单晶SiC晶圆高效率和低成本的加工要求,并对其增效机理进行深入研究。方法 通过抛光实验和原子力显微镜测试,探究长余辉发光粒子(LPPs)与不同光催化剂的协同作用对SiC–CMP的材料去除速率和表面粗糙度的影响。结合扫描电子显微镜(SEM)、紫外–可见漫反射光谱仪(UV–vis)、光致发光光谱仪(PL)和X射线光电子能谱仪(XPS)等仪器的测试结果,研究LPPs与光催化剂的协同增效机理。结果 与传统CMP的条件相比,在光催化条件下采用LPPs(质量分数0.5%)+TiO2(质量分数0.5%)+ H2O2(质量分数1.5%)+Al2O3(质量分数2%)的抛光液时,SiC的材料去除速率(MRR)由294 nm/h提高到605 nm/h,同时获得的晶圆表面粗糙度(Ra)为0.477 nm。然而,采用含有LPPs和ZrO2的抛光液抛光SiC时,其材料去除速率和表面粗糙度都未得到明显改善。XPS测试结果表明,LPPs与光催化剂的协同作用增强了抛光液对SiC的氧化作用。UV–vis和PL测试结果显示,LPPs与不同光催化剂协同效果的差异主要与其光学性能有关。结论 在光催化条件下,LPPs和TiO2对单晶SiC–CMP具有协同增效的作用,然而LPPs和ZrO2没有展现出协同增效的作用,即LPPs与光催化剂的协同作用可以改善SiC–CMP的性能,但是光催化剂的选择需要考虑LPPs的发光特性。 相似文献
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105.
浅析造纸黑液的处理技术 总被引:1,自引:0,他引:1
造纸黑液作为造纸工业废水的主要来源,是重要的污染源。国内外对造纸黑液处理技术进行了多年的研究,取得显著成果。本文对造纸黑液的处理技术进行了分类综述,指出造纸业应走向环保、节能与资源合理配置的可持续发展之路。 相似文献
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在工程设计过程中,合理确定中间热交换器内空间弯管的固有频率和附加质量系数,对于该设备的安全稳定运行至关重要。本文旨在通过有限元方法计算中间换热器同心圆排布的管束在空气和液钠环境中的固有频率及附加质量系数。将管束分为3个典型区域,选取6个位置建立换热管和流体域的三维模型,计算换热管的固有频率和附加质量系数。结果表明,换热管在空气中的固有频率受空间弯管的弯曲半径影响较小,附加质量系数受空间弯管的弯曲半径和所处区域位置影响较大,近似三角形排布区域的管束固有频率最低,该区域内层换热管的附加质量系数最大。 相似文献
107.
将总浓度为1%的刺云实胶(TG)与黄原胶(XTG)按照不同的质量比复配,采用质构仪和流变仪对复配体系的凝胶特性和流变学特性进行测定,通过Carreau模型对流动曲线进行拟合分析,并利用电子扫描显微镜分析复配体系网络形成机理。结果表明:在质构分析中TG与XTG质量比为64时有最大的凝胶强度;在流变分析中TG与XTG质量比为64时呈现最大表观黏度并且在频率扫描和温度扫描中表现出最大的储能模量(G′)。因此,TG与XTG的最佳复配比例为质量比64。在pH为5~10时,最佳复配比例体系的黏度保持相对稳定;当添加盐离子(Na+、Ca2+)后,体系黏度降低,Ca2+降低的趋势更为显著。通过电子扫描显微镜(SEM)分析,表明在TG与XTG之间存在明显的协同增效作用,可形成良好的凝胶网络结构。 相似文献
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针对土石坝工程运行期海量监测数据异构、数据整合分析困难、管理效率低下等问题,提出以BIM与GIS融合应用为核心的解决方法,同时搭建运行期物联网感知体系,利用Socket技术,实现监测数据的实时传输。基于此,研发了土石坝工程运行期BIM与GIS融合管控平台,打通了多维业务数据与BIM模型的数据壁垒,实现了数据的对象级管理和整合分析,同时针对数字化移交、监测信息管理、安全分析预警等进行全方位三维可视化管控,促进了土石坝工程运行期的精益管理。实例应用结果表明,BIM与GIS融合管控平台解决了土石坝工程运行期管理过程中可视化程度低、数据信息整合困难的问题,为土石坝工程运行管控提供了一种新方法。 相似文献
109.
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采用表面印迹法,以恩诺沙星为模板,甲基丙烯酸(MAA)为功能单体,乙二醇二甲基丙烯酸酯(EDMA)为交联剂,在聚苯乙烯酶标板表面直接合成恩诺沙星分子印迹聚合物膜。通过傅立叶红外光谱分析、电镜扫描、吸附平衡结合实验、Scatchard方程分析及吸附动力学实验对恩诺沙星印迹聚合物膜进行性能表征。合成的分子印迹聚合物膜具有很好的印迹效果,对恩诺沙星有较高的特异性吸附,且传质速率快,由Scatchard方程分析可知,聚合物膜中含有两类吸附位点,其中高亲和力位点的平衡解离常数(Kd)为19.49μg/mL,饱和吸附容量(Qmax)为12.98μg/mL,低亲和力位点的Kd为277.78μg/mL,Qmax为98.14μg/mL,吸附位点的异质性并不会影响聚合物膜应用于竞争性免疫吸附分析。通过该方法合成的恩诺沙星特异性识别聚合物膜可以作为仿生抗体,应用于竞争性免疫吸附分析检测恩诺沙星在食品中的残留。 相似文献