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采用CF4和Ar混合气体研究了新型相变材料Ti0.5Sb2Te3(TST)的刻蚀特性,重点优化和研究了刻蚀气体总流速、CF4/Ar的比例、压力和功率等工艺参数对刻蚀形貌的影响。结果表明,当气体总流量为50 sccm、CF4浓度为26%﹑刻蚀功率为400 W和刻蚀压力为13.3 Pa时,刻蚀速度达到126 nm/min,TST薄膜刻蚀图形侧壁平整而且垂直度好(接近90°)﹑刻蚀表面平整(RMS为0.82 nm)以及刻蚀的片内均匀性等都非常好。 相似文献
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在有限元领域,对复杂模型进行分析需要耗费巨大的计算资源,如何在保证计算精度的前提下有效提高计算效率一直是一项研究重点。为解决这个问题,引入多态模型理论,通过生成合适的模型态来取得结果精度与计算时间的平衡点。因此,模型态的质量直接关系到计算效率的提升程度。孔特征作为有限元分析模型的常见特征,对计算规模有重要影响。文章基于特征抑制的方式探索模型中孔特征的合适处理策略,并结合孔特征的几何属性估计不同策略下生成的模型态的计算精度和计算规模。在此基础上找出几何属性之间存在相互制约的关系,根据经典的加权方法将多目标问题转化成单目标问题,建立模型态选择标准并使用遗传算法选择出最优模型态。 相似文献
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研究高精度雷达数据采样问题。雷达数据采样时要求数据的准确性。传统雷达数据采用是基于等间隔时间采样的,具有精度低、误差大的缺陷,无法满足高精度定位的需求。针对上述问题,提出一种采用不等间隔时间采样的高精度雷达数据仿真方法。通过为飞行器建立基本的运动模型,采用分段组合的方法生成目标运动轨迹。在此基础上结合雷达的扫描体制与目标的运动特性,采用迭代法实现了对目标运动轨迹进行精确采样。实验结果表明,改进方法能够生成连续、光滑的目标运动轨迹,生成具有精确位置信息的仿真雷达数据,可用于多雷达航迹融合等对仿真雷达数据精度要求较高的场合。 相似文献
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提出了一种利用智能学习方式解决强信号条件下弱信号的波达方向估计问题的新方法。通过理论推导发现协方差矩阵的特征值与来波信号功率之间存在一定的关系,将含功率信息的协方差矩阵的特征值加入到含方位信息的协方差矩阵上三角部分共同作为样本特征,构建基于RBF神经网络的弱信号DOA估计模型,解决了现有的智能学习方法难以对强信号条件下弱信号的来波方位估计问题,相比于利用解析计算的方法,本方法不需要已知强信号的来波方位并对其进行干扰抑制,计算量更小、DOA估计精度更高。仿真实验验证了新方法的有效性。 相似文献
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对存在的多维Fuzzing技术中使用的遗传算法不能表示多种输入类型元素,不能充分使用已得到知识从而大大降低了基于知识的多维Fuzzing技术中提出的多维Fuzzing技术挖掘的漏洞的范围和能力,设计了一个包含选择、交叉、变异、修补等操作的可以表示大多数输入元素类型的遗传算法,提出一种多个输入元素的小染色体级连成一个大染色体,大染色体的遗传算子操作分解到各个小染色体之间操作的编码及操作方案,针对字符串型输入元素,提出一套可变长染色体的实值编码及操作方法.漏洞挖掘实验结果显示应用论文设计的遗传算法的多维Fuzzing技术具有更好的漏洞挖掘能力和更好的漏洞挖掘效率. 相似文献
98.
PPA型机器人是一类新型的三连杆欠驱动机械系统,具有3个自由度,但只有1个驱动装置.针对这类欠驱动机器人的运动控制,提出一种分区的控制策略,使之从垂直向下的位置摇起到垂直向上的位置,并实现稳定控制.首先,将系统的运动空间划分为摇起区和吸引区;其次,应用一种基于Lyapunov函数的控制方法来增加系统能量和控制驱动杆姿态,实现摇起操作;再次,采用最优控制方法设计平衡控制,实现稳定的平衡控制;最后,通过仿真实验验证了所提出控制方法的有效性. 相似文献
99.
100.